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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
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NEXT GENENRATION OF X-RAY METROLOGY

Description du projet

Un instrument compact pour la métrologie avancée par rayons X

La demande liée aux dispositifs à semi-conducteurs, à l’électronique de faible puissance, aux véhicules électriques, aux capteurs et à l’Internet des objets a stimulé le développement de matériaux innovants à couches minces. Les scientifiques utilisent les rayons X pour étudier leurs propriétés cristallines et établir des corrélations avec leurs caractéristiques électroniques. Récemment, Sirius X-ray Solutions a présenté le XRS SEMI, un instrument de métrologie à rayons X compact et avancé, doté d’une optique à rayons X nouvellement développée et d’un détecteur de pointe. Le projet Next Gen XRM, financé par l’UE, s’appuiera sur le XRS SEMI pour évaluer la structure cristalline des matériaux en couches minces. Dans le cadre du programme WomenTechEU, Sirius X-ray Solutions finalisera et intégrera une boîte à outils logicielle basée sur l’apprentissage automatique et la simulation de modèles théoriques dans la plateforme Sirius XRS afin d’améliorer ses performances analytiques.

Objectif

Due to increased demand for semiconductor devices, low-power electronics, electric vehicles, sensors, IoT (Internet of things), new complex thin film materials are constantly engineered by sophisticated MBE (molecular beam epitaxy), PVD (physical vapour deposition) or ALD (atomic layer deposition). X-rays are well suited to assess the crystalline structure of new thin film materials due to the intrinsic properties of X-rays to probe material on the sub-nanometer scale. These crystal properties (film thickness, composition, strain, stress, interdiffusion and epitaxial relation) are then correlated to the electronic properties.
Sirius X-ray Solutions is an innovative German SME with the mission to develop and manufacture high-performance customised X-ray instrumentation for semiconductor and material characterisation applications.
After years of R&D, it has developed XRS SEMI, a compact (1m x 1m) advanced X-ray metrology instrument, which combines a newly developed X-ray optic, state-of-the-art detector, fast control software and fast, accurate data analysis software. XRS SEMI is used to assess the crystalline structure of new thin film materials due to the intrinsic properties of X-rays to probe material on the sub-nanometer scale. XRS SEMI has been sold and validated to prestigious research institutions and innovative SMEs such as the Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, the University of Leuven, Lumiphase AG and Soitec. The X-ray metrology instrument, developed by SIRIUS, can measure at least 10 times faster than the competition, with a selling price 2 times lower. It addresses the growing niche market (200mm wafers) within the semiconductor market of X-ray metrology for MEMS, photonics and sensors.
Within the WomenTechEU programme Sirius X-ray Solutions will finalise and integrate the software toolbox, based on machine learning and theoretical models' simulation, into the Sirius XRS platform to optimise the software's analytical performance.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Mots‑clés

Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).

Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

HORIZON-CSA - HORIZON Coordination and Support Actions

Voir tous les projets financés dans le cadre de ce programme de financement

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

(s’ouvre dans une nouvelle fenêtre) HORIZON-EIE-2022-SCALEUP-02

Voir tous les projets financés au titre de cet appel

Coordinateur

SIRIUS X-RAY SOLUTIONS GMBH
Contribution nette de l'UE

La contribution financière nette de l’UE est la somme d’argent que le participant reçoit, déduite de la contribution de l’UE versée à son tiers lié. Elle prend en compte la répartition de la contribution financière de l’UE entre les bénéficiaires directs du projet et d’autres types de participants, tels que les participants tiers.

€ 75 000,00
Adresse
NEUE STR. 95
73230 Kirchheim Unter Teck
Allemagne

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Région
Baden-Württemberg Stuttgart Esslingen
Type d’activité
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Liens
Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

Aucune donnée
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