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Towards no-drift sensors with on-chip self-calibration

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Veröffentlichungen

Analytical and experimental study of stress effects in a MEMS ring gyroscope (öffnet in neuem Fenster)

Autoren: Mehran Hosseini-Pishrobat, Derin Erkan, Erdinc Tatar
Veröffentlicht in: Sensors and Actuators A: Physical, 2023, ISSN 0346-251X
Herausgeber: Pergamon Press Ltd.
DOI: 10.1021/acsenergylett.3c02779

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