Projektbeschreibung
Beispiellose Abstimmung von photonischen Resonatoren am Ende der Fertigung
Die Fertigung im Nanobereich, vor allem im Bereich der integrierten Photonik, steht vor erheblichen Herausforderungen in Bezug auf die Auflösung und die Fehlerquote von Reinraumgeräten. Obwohl die Maßfehler auf 1 bis 10 Nanometer verkleinert werden konnten, steht die Fertigungstechnologie unter dem Druck, mit dem Bedarf an immer mehr Bauteilen auf immer kompakterem Raum Schritt zu halten, um sowohl die Verluste zu begrenzen als auch die Anwendbarkeit zu verbessern. Ziel des ERC-finanzierten Projekt TUPHO ist es, dieses Problem mit einem patentierten Verfahren zu lösen, das Fehler am Ende des Fertigungsprozesses dauerhaft behebt und die Abstimmung von photonischen Resonatoren mit bisher unerreichter Genauigkeit gestattet. Die Forschenden werden in die Lage versetzt, das Verfahren auf ausgewählte Siliziumbauteile zu übertragen, damit es von den Herstellern leicht eingesetzt werden kann.
Ziel
Silicon photonics has progressed enormously over the last 15 years: large microelectronics manufacturers and small companies are now working on the subject, with identified products. The reproducibility of micro and nanophotonic devices remains a central technological barrier, to be broken. The dimension errors of cleanroom devices are 1 to 10 nanometers (1%), limiting applications. We have discovered a technique that makes it possible to absorb these errors at the end of manufacturing, permanently. We can tune photonic resonators with an accuracy of 10^(-4), and make them strictly identical when necessary. In this POC project, the patented technique will be transposed on silicon devices of interest, in a simple configuration for manufacturers.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: https://op.europa.eu/en/web/eu-vocabularies/euroscivoc.
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- NaturwissenschaftenNaturwissenschaftenElektromagnetismus und ElektronikMikroelektronik
- NaturwissenschaftenChemiewissenschaftenanorganische ChemieMetalloide
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Programm/Programme
- HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC) Main Programme
Thema/Themen
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
(öffnet in neuem Fenster) ERC-2023-POC
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HORIZON-ERC-POC - HORIZON ERC Proof of Concept GrantsGastgebende Einrichtung
75794 Paris
Frankreich