Description du projet
Matériaux photorésistants verts pour la fabrication de semi-conducteurs
Le projet RESIN GREEN, financé par l’UE, vise à faciliter la transition écologique dans la fabrication des semi-conducteurs en réduisant l’utilisation de solvants organiques dangereux dans les processus lithographiques. À cette fin, il explorera l’utilisation de matériaux renouvelables dérivés de la biomasse et de nouvelles plateformes photorésistantes comme substituts aux résines lithographiques conventionnelles. Le but est de développer de nouveaux matériaux compatibles avec des solvants écologiques tels que l’eau, les solutions basiques aqueuses diluées et les solvants organiques verts. Le projet vise notamment à éliminer ou à réduire considérablement l’utilisation de solvants organiques toxiques et de solutions alcalines dans les étapes de revêtement par centrifugation et de développement de la fabrication des micropuces. L’équipe étudiera également la lithographie par faisceau d’électrons afin d’évaluer le potentiel de résolution des matériaux de réserve proposés.
Objectif
Alternative (to mainstream Silicon CMOS technologies) semiconductor manufacturing process technologies able to sustain in the mid- and long-terms the fast pace evolution of device performance, miniaturisation and cost, while reducing environmental footprint. RESIN GREEN proposes the development of new resist material platforms that can be processed under conditions offering clear advantages regarding reduction of environmental footprint. In particular, new resist chemistries targeting to materials than can be processed (deposited and developed) by using environmentally friendly solvents such as water, very dilute aqueous base solutions, or green organic solvents.
In this context we will develop new resist materials in order to eliminate the use of organic solvents and aqueous alkaline solutions that are currently used in the lithographic process at semiconductor manufacturing industry. The lithographical process steps that demand the major amounts of solvents are the spin coating solution of the photoresist as well as the development process. We target to replace the standard organic solvents which are used in spin coating and the highly alkaline TMAH solutions used in development with water. The use of greener organic solvents and very dilute basic developers will only be considered if necessary for meeting high performance requirements.
Our target is to investigate bio-source materials and new photoresist platforms suitable for exposure at 193 nm, 248 nm or EUV and achieve significant breakthroughs by designing a complete process, using renewable resources and neither organic solvent nor hazardous chemicals. In addition, e-beam lithography will be considered, especially for evaluating the high resolution potential of the proposed resist materials.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
Vous devez vous identifier ou vous inscrire pour utiliser cette fonction
Mots‑clés
Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).
Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).
Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
-
HORIZON.2.4 - Digital, Industry and Space
PROGRAMME PRINCIPAL
Voir tous les projets financés dans le cadre de ce programme -
HORIZON.2.4.3 - Emerging enabling technologies
Voir tous les projets financés dans le cadre de ce programme
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
HORIZON-RIA - HORIZON Research and Innovation Actions
Voir tous les projets financés dans le cadre de ce programme de financement
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
(s’ouvre dans une nouvelle fenêtre) HORIZON-CL4-2023-DIGITAL-EMERGING-01-CNECT
Voir tous les projets financés au titre de cet appelCoordinateur
La contribution financière nette de l’UE est la somme d’argent que le participant reçoit, déduite de la contribution de l’UE versée à son tiers lié. Elle prend en compte la répartition de la contribution financière de l’UE entre les bénéficiaires directs du projet et d’autres types de participants, tels que les participants tiers.
153 41 AGIA PARASKEVI
Grèce
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.