Resist materials for transition to green processing in semiconductor industry

Informations projet

RESIN GREEN

N° de convention de subvention: 101135783

DOI

10.3030/101135783

Date de signature de la CE 25 Octobre 2023

Date de début 1 Janvier 2024

Date de fin 30 Juin 2027

Financé au titre de

• Digital, Industry and Space

Coût total

€ 3 777 574,50

Contribution de l’UE

€ 3 777 574,50

Coordonné par

"NATIONAL CENTER FOR SCIENTIFIC RESEARCH ""DEMOKRITOS"""
Greece

CORDIS fournit des liens vers les livrables publics et les publications des projets HORIZON.

Les liens vers les livrables et les publications des projets du 7e PC, ainsi que les liens vers certains types de résultats spécifiques tels que les jeux de données et les logiciels, sont récupérés dynamiquement sur OpenAIRE .

Livrables

Documents, reports (1)

Project Handbook

Report with all process, methods, control of efficient project management and quality assurance in all stages of the Project.

Data Management Plan (1)

Data management plan

Report that describes the good data handling through indicating what research data the project expects 1to generate and describe which parts of the data can be shared with the public.

Publications

Conference proceedings (1)

Novel nanopositioning system with improved range, dynamics and accuracy

Auteurs: Jan Thiesler, Harry Marth, Michael Schröder, Gaoliang Dai
Publié dans: 2025
Éditeur: euspen’s 25th International Conference & Exhibition