SUB-WAVELENGTH HOLOGRAPHIC LITHOGRAPHY STEPPER FOR INTEGRATED CIRCUIT PRODUCTION

Informazioni relative al progetto

HOLISTEP

ID dell’accordo di sovvenzione: 101137624

DOI

10.3030/101137624

Data della firma CE 4 Dicembre 2023

Data di avvio 1 Gennaio 2024

Data di completamento 31 Dicembre 2027

Finanziato da

• Digital, Industry and Space

Costo totale

Nessun dato

Contributo UE

€ 3 547 090,21

Coordinato da

FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV
Germany

CORDIS fornisce collegamenti ai risultati finali pubblici e alle pubblicazioni dei progetti ORIZZONTE.

I link ai risultati e alle pubblicazioni dei progetti del 7° PQ, così come i link ad alcuni tipi di risultati specifici come dataset e software, sono recuperati dinamicamente da .OpenAIRE .

Risultati finali

Documents, reports (2)

Preliminary LCA and LCC model

using the first set of LCA and LCC data

HoLiSTEP training plan

Plan for strategic activities to maximise impact through coordinated training

Pubblicazioni

Peer reviewed articles (1)

Optical Fiber Technology

Autori: Hossein Fathi, Uttam Kumar Samanta, Evgenii Motorin, Ebrahim Aghayari, Andrey Grishchenko, Matias Koivurova, Regina Gumenyuk, Valery Filippov,
Pubblicato in: Optical Fiber Technology, Numero 104465, 2026, ISSN 1068-5200
Editore: Elsevier Inc
DOI: 10.1016/J.YOFTE.2025.104465