Description du projet
Nettoyage et passivation à l’échelle nanométrique pour des interconnexions hautement fonctionnelles
L’un des principaux défis rencontrés pour intégrer toujours plus de composants dans des circuits intégrés toujours plus petits consiste à concevoir des connexions (interconnexions) de haute performance entre ces composants. Alors que le cuivre a été le métal de prédilection au cours des deux dernières décennies, il ne peut malheureusement pas répondre aux exigences de conductivité d’interconnexions d’une longueur inférieure à 10 nanomètres. Le nickel-aluminium (NiAl) est un substitut prometteur, mais qui est sujet à l’oxydation de surface, or le nettoyage et la passivation in situ sont complexes à de si petites échelles. Avec le soutien du programme Actions Marie Skłodowska-Curie, le projet CRIME se propose de développer et de démontrer un nouveau processus de nettoyage et de passivation du NiAl à l’échelle nanométrique pour les nœuds microélectroniques avancés.
Objectif
Interconnects impose major limits on the performance on integrated circuits during the exponential reduction of feature size of microchips. The semiconductor industry faces challenges in the metallization of interconnects below the 10 nm half pitch and is looking to alternative metallization schemes to replace copper, the traditional choice for the last 20 years, which no longer meet the conductivity requirements at decreasing length scales. Binary metals such as nickel-aluminium (NiAl) have been identified as a promising candidate that performs well with respect to resistivity at critical dimensions (sub-10 nm) to replace copper. However, there are several challenges associated with the instability of these materials regarding surface oxidation, leading to performance degradation.
The objective of CRIME is the in-situ removal of the surface oxide and in-situ passivation of binary intermetallic compounds to prevent surface oxidation at the sub-10 nm half pitch for interconnect applications. To meet the future size requirements of interconnects, the downscaling of the cleaning and passivation processes from blankets to sub-10 nm half-pitch and the formation of patterned lines, with the aim of sub-7 nm half-pitch, will be performed.
This will be achieved through an interdisciplinary approach that combines material science, chemistry, chemical engineering, nanoelectronics, and physics, to test different metal oxide removal and surface cleaning chemistries in combination with organic and inorganic passivation layers in-situ to overcome the formation of an oxide top layer. The passivation layers will be deposited in the liquid and vapour phase and various analytic techniques will be used to elucidate the surface chemistry and surface reaction mechanisms.
CRIME goes beyond the state-of-the-art as the cleaning and passivating process and the downscaling of these processes on NiAl at the nanoscale and for advanced microelectronics nodes has not been previously demonstrated
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- sciences naturelles sciences chimiques électrochimie électrolyse
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique microélectronique
- ingénierie et technologie nanotechnologie nanoélectronique
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Mots‑clés
Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).
Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).
Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
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HORIZON.1.2 - Marie Skłodowska-Curie Actions (MSCA)
PROGRAMME PRINCIPAL
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Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
HORIZON-TMA-MSCA-PF-EF - HORIZON TMA MSCA Postdoctoral Fellowships - European Fellowships
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Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
(s’ouvre dans une nouvelle fenêtre) HORIZON-MSCA-2023-PF-01
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La contribution financière nette de l’UE est la somme d’argent que le participant reçoit, déduite de la contribution de l’UE versée à son tiers lié. Elle prend en compte la répartition de la contribution financière de l’UE entre les bénéficiaires directs du projet et d’autres types de participants, tels que les participants tiers.
3001 Leuven
Belgique
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.