Opis projektu
Nowatorskie czyszczenie i pasywacja w nanoskali jako sposób na wytwarzanie wysoce funkcjonalnych interkonektów
Kluczowym wyzwaniem związanym z umieszczaniem coraz większej liczby komponentów w coraz mniejszych układach scalonych jest produkcja wysokowydajnych połączeń (interkonektów) między tymi komponentami. Przez ostatnie kilka dekad wybór padał na miedź, ale metal ten nie jest w stanie sprostać wymaganiom w zakresie przewodności interkonektów o długości poniżej 10 nanometrów. Chociaż stop nikiel-aluminium (NiAl) jest obiecującym substytutem, jego powierzchnia utlenia się, a czyszczenie i pasywacja in situ są trudne w tak małych skalach. Projekt CRIME, realizowany przy wsparciu programu działania „Maria Skłodowska-Curie”, ma na celu opracowanie i zademonstrowanie nowatorskiego procesu czyszczenia i pasywacji stopu NiAl dla zaawansowanych węzłów mikroelektronicznych.
Cel
Interconnects impose major limits on the performance on integrated circuits during the exponential reduction of feature size of microchips. The semiconductor industry faces challenges in the metallization of interconnects below the 10 nm half pitch and is looking to alternative metallization schemes to replace copper, the traditional choice for the last 20 years, which no longer meet the conductivity requirements at decreasing length scales. Binary metals such as nickel-aluminium (NiAl) have been identified as a promising candidate that performs well with respect to resistivity at critical dimensions (sub-10 nm) to replace copper. However, there are several challenges associated with the instability of these materials regarding surface oxidation, leading to performance degradation.
The objective of CRIME is the in-situ removal of the surface oxide and in-situ passivation of binary intermetallic compounds to prevent surface oxidation at the sub-10 nm half pitch for interconnect applications. To meet the future size requirements of interconnects, the downscaling of the cleaning and passivation processes from blankets to sub-10 nm half-pitch and the formation of patterned lines, with the aim of sub-7 nm half-pitch, will be performed.
This will be achieved through an interdisciplinary approach that combines material science, chemistry, chemical engineering, nanoelectronics, and physics, to test different metal oxide removal and surface cleaning chemistries in combination with organic and inorganic passivation layers in-situ to overcome the formation of an oxide top layer. The passivation layers will be deposited in the liquid and vapour phase and various analytic techniques will be used to elucidate the surface chemistry and surface reaction mechanisms.
CRIME goes beyond the state-of-the-art as the cleaning and passivating process and the downscaling of these processes on NiAl at the nanoscale and for advanced microelectronics nodes has not been previously demonstrated
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- nauki przyrodnicze nauki chemiczne elektrochemia elektroliza
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne elektromagnetyzm i elektronika urządzenie półprzewodnikowe
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne elektromagnetyzm i elektronika mikroelektronika
- inżynieria i technologia nanotechnologia nanoelektronika
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Przepraszamy… podczas wykonywania operacji wystąpił nieoczekiwany błąd.
Wymagane uwierzytelnienie. Powodem może być wygaśnięcie sesji.
Dziękujemy za przesłanie opinii. Wkrótce otrzymasz wiadomość e-mail z potwierdzeniem zgłoszenia. W przypadku wybrania opcji otrzymywania powiadomień o statusie zgłoszenia, skontaktujemy się również gdy status ulegnie zmianie.
Słowa kluczowe
Słowa kluczowe dotyczące projektu wybrane przez koordynatora projektu. Nie należy mylić ich z pojęciami z taksonomii EuroSciVoc dotyczącymi dziedzin nauki.
Słowa kluczowe dotyczące projektu wybrane przez koordynatora projektu. Nie należy mylić ich z pojęciami z taksonomii EuroSciVoc dotyczącymi dziedzin nauki.
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
-
HORIZON.1.2 - Marie Skłodowska-Curie Actions (MSCA)
GŁÓWNY PROGRAM
Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego programu
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
HORIZON-TMA-MSCA-PF-EF - HORIZON TMA MSCA Postdoctoral Fellowships - European Fellowships
Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego programu finansowania
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
(odnośnik otworzy się w nowym oknie) HORIZON-MSCA-2023-PF-01
Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego zaproszeniaKoordynator
Kwota netto dofinansowania ze środków Unii Europejskiej. Suma środków otrzymanych przez uczestnika, pomniejszona o kwotę unijnego dofinansowania przekazanego powiązanym podmiotom zewnętrznym. Uwzględnia podział unijnego dofinansowania pomiędzy bezpośrednich beneficjentów projektu i pozostałych uczestników, w tym podmioty zewnętrzne.
3001 Leuven
Belgia
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.