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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
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Advanced CMOS Technology for 10 A node

Descripción del proyecto

Pioneros en el salto de Europa al nodo de 10 ángstrom

Reducir los transistores para aumentar el rendimiento de los chips está superando los límites de lo físicamente posible. A medida que la industria de los semiconductores avanza hacia el nodo de 10 ángstrom, se hacen imprescindibles nuevos avances para seguir el ritmo de la ley de Moore. En este contexto, el proyecto ACT10, financiado con fondos europeos, reúne a 32 socios que trabajan en todo el proceso de fabricación de chips, desde la litografía y el diseño de máscaras hasta la arquitectura de chips y la supervisión del proceso. Al abordar retos en áreas como la metrología computacional, los dispositivos de transistor complementario de efecto de campo y la litografía de alta apertura numérica, el equipo de ACT10 está sentando las bases de la próxima generación de chips semiconductores complementarios de óxido metálico. A su vez, el proyecto refuerza el papel de Europa como centro de fabricación de semiconductores de vanguardia, apoyando tanto las tecnologías de fabricación nuevas como las ya establecidas.

Objetivo

The objective of the ACT10 project is to develop and demonstrate the required technology options, including their integration, for the 10Ångstrom node. The 32 participating partners cover a wide range of activities along the entire value chain for the manufacturing of CMOS chips. Activities include equipment development, computer aided design tooling and process technology development.
Essential parts of hardware, software and processing technology are developed pushing the boundaries of semiconductor design and manufacture to enable the new node and keep Moore’s law alive. The project aims to enhance the attractiveness of the EU as a location for new cutting-edge high volume and legacy node fabs. The ACT10 project is built based on the following four pillars.

1. Lithography Equipment and Mask Technology: Increase key-performance indicators in the optical system of High-NA Lithography machines, along with developing advanced mask processes and equipment to reach optical imaging requirements, and nonlinear optics material lifetime effects.
2. Chip design and Block Level validation; Assessment of different CFET devices and evaluate building blocks for digital and analog IPs.
3. Process Technology: development of innovative solutions for routing of the stacked n- and p-devices of the CFET architecture, development of 0.55NA (high-NA) single patterning solutions, and the development of semi-damascene BEOL for the 10Å node.
4. Computational Metrology and Process Monitoring Equipment: develop computational metrology methods, and develop metrology and inspection modules and equipment.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

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Palabras clave

Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).

Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

HORIZON-JU-IA - HORIZON JU Innovation Actions

Ver todos los proyectos financiados en el marco de este régimen de financiación

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

(se abrirá en una nueva ventana) HORIZON-JU-Chips-2024-1-IA

Ver todos los proyectos financiados en el marco de esta convocatoria

Coordinador

ASML NETHERLANDS B.V.
Aportación neta de la UEn

Aportación financiera neta de la UE. Es la suma de dinero que recibe el participante, deducida la aportación de la UE a su tercero vinculado. Considera la distribución de la aportación financiera de la UE entre los beneficiarios directos del proyecto y otros tipos de participantes, como los terceros participantes.

€ 3 000 000,00
Dirección
DE RUN 6501
5504DR VELDHOVEN
Países Bajos

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Tipo de actividad
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Enlaces
Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

€ 15 000 000,00

Participantes (31)

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