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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Advanced CMOS Technology for 10 A node

Projektbeschreibung

Wegbereiter für Europas Sprung zum 10-Ångström-Knoten

Die Verkleinerung von Transistoren zur Steigerung der Chipleistung stößt mittlerweile an die Grenzen des physikalisch Machbaren. Da sich die Halbleiterindustrie auf den 10-Ångström-Knoten zubewegt, sind neue Durchbrüche erforderlich, um mit dem Mooreschen Gesetz Schritt halten zu können. Das EU-finanzierte Projekt ACT10 will in diesem Zusammenhang 32 Partner vereinen, die am gesamten Prozess der Chipherstellung arbeiten – von der Lithografie und dem Maskendesign bis hin zur Chiparchitektur und Prozessüberwachung. Durch die Bewältigung von Herausforderungen in Bereichen wie Computermetrologie, CFET-Bauelemente und High-NA-EUV-Lithographie legt ACT10 den Grundstein für die nächste Generation von CMOS-Chips. Gleichzeitig stärkt das Projekt die Rolle Europas als Zentrum für modernste Halbleiterfertigung, wobei sowohl neue als auch etablierte Fertigungstechnologien unterstützt werden.

Ziel

The objective of the ACT10 project is to develop and demonstrate the required technology options, including their integration, for the 10Ångstrom node. The 32 participating partners cover a wide range of activities along the entire value chain for the manufacturing of CMOS chips. Activities include equipment development, computer aided design tooling and process technology development.
Essential parts of hardware, software and processing technology are developed pushing the boundaries of semiconductor design and manufacture to enable the new node and keep Moore’s law alive. The project aims to enhance the attractiveness of the EU as a location for new cutting-edge high volume and legacy node fabs. The ACT10 project is built based on the following four pillars.

1. Lithography Equipment and Mask Technology: Increase key-performance indicators in the optical system of High-NA Lithography machines, along with developing advanced mask processes and equipment to reach optical imaging requirements, and nonlinear optics material lifetime effects.
2. Chip design and Block Level validation; Assessment of different CFET devices and evaluate building blocks for digital and analog IPs.
3. Process Technology: development of innovative solutions for routing of the stacked n- and p-devices of the CFET architecture, development of 0.55NA (high-NA) single patterning solutions, and the development of semi-damascene BEOL for the 10Å node.
4. Computational Metrology and Process Monitoring Equipment: develop computational metrology methods, and develop metrology and inspection modules and equipment.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Schlüsselbegriffe

Schlüsselbegriffe des Projekts, wie vom Projektkoordinator angegeben. Nicht zu verwechseln mit der EuroSciVoc-Taxonomie (Wissenschaftliches Gebiet).

Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

HORIZON-JU-IA - HORIZON JU Innovation Actions

Alle im Rahmen dieses Finanzierungsinstruments finanzierten Projekte anzeigen

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

(öffnet in neuem Fenster) HORIZON-JU-Chips-2024-1-IA

Alle im Rahmen dieser Aufforderung zur Einreichung von Vorschlägen finanzierten Projekte anzeigen

Koordinator

ASML NETHERLANDS B.V.
Netto-EU-Beitrag

Finanzieller Nettobeitrag der EU. Der Geldbetrag, den der Beteiligte erhält, abzüglich des EU-Beitrags an mit ihm verbundene Dritte. Berücksichtigt die Aufteilung des EU-Finanzbeitrags zwischen den direkten Begünstigten des Projekts und anderen Arten von Beteiligten, wie z. B. Dritten.

€ 3 000 000,00
Adresse
DE RUN 6501
5504DR Veldhoven
Niederlande

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Region
Zuid-Nederland Noord-Brabant Zuidoost-Noord-Brabant
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Links
Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

€ 15 000 000,00

Beteiligte (31)

Mein Booklet 0 0