Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS

Advanced CMOS Technology for 10 A node

Opis projektu

Pionierski skok Europy do węzła 10-ångström

Zmniejszanie tranzystorów w celu poprawy osiągów układów scalonych prowadzi nas do granic możliwości fizycznych. W miarę zbliżania się sektora półprzewodników się do węzła 10-ångström, konieczne są nowe przełomy, aby dotrzymać kroku prawu Moore'a. Zespół finansowanego ze środków UE projektu ACT10 łączy 32 partnerów pracujących nad całym procesem produkcji układów scalonych, od litografii i projektowania masek po architekturę mikroukładów i monitorowanie procesu. Rozwiązując wyzwania w obszarach takich jak metrologia obliczeniowa, urządzenia CFET i litografia high-NA, zespół projektu ACT10 kładzie podwaliny pod nową generację układów CMOS. Jednocześnie projekt wzmacnia rolę Europy jako ośrodka najnowocześniejszej produkcji półprzewodników, wspierając zarówno nowe, jak i ugruntowane technologie wytwarzania.

Cel

The objective of the ACT10 project is to develop and demonstrate the required technology options, including their integration, for the 10Ångstrom node. The 32 participating partners cover a wide range of activities along the entire value chain for the manufacturing of CMOS chips. Activities include equipment development, computer aided design tooling and process technology development.
Essential parts of hardware, software and processing technology are developed pushing the boundaries of semiconductor design and manufacture to enable the new node and keep Moore’s law alive. The project aims to enhance the attractiveness of the EU as a location for new cutting-edge high volume and legacy node fabs. The ACT10 project is built based on the following four pillars.

1. Lithography Equipment and Mask Technology: Increase key-performance indicators in the optical system of High-NA Lithography machines, along with developing advanced mask processes and equipment to reach optical imaging requirements, and nonlinear optics material lifetime effects.
2. Chip design and Block Level validation; Assessment of different CFET devices and evaluate building blocks for digital and analog IPs.
3. Process Technology: development of innovative solutions for routing of the stacked n- and p-devices of the CFET architecture, development of 0.55NA (high-NA) single patterning solutions, and the development of semi-damascene BEOL for the 10Å node.
4. Computational Metrology and Process Monitoring Equipment: develop computational metrology methods, and develop metrology and inspection modules and equipment.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Słowa kluczowe

Słowa kluczowe dotyczące projektu wybrane przez koordynatora projektu. Nie należy mylić ich z pojęciami z taksonomii EuroSciVoc dotyczącymi dziedzin nauki.

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

HORIZON-JU-IA - HORIZON JU Innovation Actions

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego programu finansowania

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

(odnośnik otworzy się w nowym oknie) HORIZON-JU-Chips-2024-1-IA

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego zaproszenia

Koordynator

ASML NETHERLANDS B.V.
Wkład UE netto

Kwota netto dofinansowania ze środków Unii Europejskiej. Suma środków otrzymanych przez uczestnika, pomniejszona o kwotę unijnego dofinansowania przekazanego powiązanym podmiotom zewnętrznym. Uwzględnia podział unijnego dofinansowania pomiędzy bezpośrednich beneficjentów projektu i pozostałych uczestników, w tym podmioty zewnętrzne.

€ 3 000 000,00
Adres
DE RUN 6501
5504DR Veldhoven
Niderlandy

Zobacz na mapie

Region
Zuid-Nederland Noord-Brabant Zuidoost-Noord-Brabant
Rodzaj działalności
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Linki
Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

€ 15 000 000,00

Uczestnicy (31)

Moja broszura 0 0