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CORDIS - Risultati della ricerca dell’UE
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Advanced CMOS Technology for 10 A node

Descrizione del progetto

Pionieri del balzo europeo verso il nodo di 10 ångström

La riduzione delle dimensioni dei transistor per aumentare le prestazioni dei chip sta ridefinendo i limiti di ciò che è fisicamente possibile. L’avvicinamento dell’industria dei semiconduttori al nodo di 10 ångström rende indispensabili nuove scoperte per tenere il passo con la legge di Moore. In base a tali premesse, il progetto ACT10, finanziato dall’UE, riunisce 32 partner che lavorano in ogni fase del processo di produzione dei chip, dalla litografia alla progettazione delle maschere, dall’architettura dei chip al monitoraggio dei processi. Affrontando le sfide attuali in campi come la metrologia computazionale, i dispositivi CFET e la litografia ad alta apertura numerica (NA), il progetto ACT10 sta gettando le basi per la prossima generazione di chip CMOS. Al tempo stesso, il progetto rafforza il ruolo dell’Europa come centro per la produzione di semiconduttori all’avanguardia, sostenendo sia le tecnologie di fabbricazione nuove che quelle consolidate.

Obiettivo

The objective of the ACT10 project is to develop and demonstrate the required technology options, including their integration, for the 10Ångstrom node. The 32 participating partners cover a wide range of activities along the entire value chain for the manufacturing of CMOS chips. Activities include equipment development, computer aided design tooling and process technology development.
Essential parts of hardware, software and processing technology are developed pushing the boundaries of semiconductor design and manufacture to enable the new node and keep Moore’s law alive. The project aims to enhance the attractiveness of the EU as a location for new cutting-edge high volume and legacy node fabs. The ACT10 project is built based on the following four pillars.

1. Lithography Equipment and Mask Technology: Increase key-performance indicators in the optical system of High-NA Lithography machines, along with developing advanced mask processes and equipment to reach optical imaging requirements, and nonlinear optics material lifetime effects.
2. Chip design and Block Level validation; Assessment of different CFET devices and evaluate building blocks for digital and analog IPs.
3. Process Technology: development of innovative solutions for routing of the stacked n- and p-devices of the CFET architecture, development of 0.55NA (high-NA) single patterning solutions, and the development of semi-damascene BEOL for the 10Å node.
4. Computational Metrology and Process Monitoring Equipment: develop computational metrology methods, and develop metrology and inspection modules and equipment.

Campo scientifico (EuroSciVoc)

CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.

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Parole chiave

Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).

Programma(i)

Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.

Argomento(i)

Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.

Meccanismo di finanziamento

Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.

HORIZON-JU-IA - HORIZON JU Innovation Actions

Vedi tutti i progetti finanziati nell’ambito di questo schema di finanziamento

Invito a presentare proposte

Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.

(si apre in una nuova finestra) HORIZON-JU-Chips-2024-1-IA

Vedi tutti i progetti finanziati nell’ambito del bando

Coordinatore

ASML NETHERLANDS B.V.
Contributo netto dell'UE

Contributo finanziario netto dell’UE. La somma di denaro che il partecipante riceve, decurtata dal contributo dell’UE alla terza parte collegata. Tiene conto della distribuzione del contributo finanziario dell’UE tra i beneficiari diretti del progetto e altri tipi di partecipanti, come i partecipanti terzi.

€ 3 000 000,00
Indirizzo
DE RUN 6501
5504DR Veldhoven
Paesi Bassi

Mostra sulla mappa

Regione
Zuid-Nederland Noord-Brabant Zuidoost-Noord-Brabant
Tipo di attività
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Collegamenti
Costo totale

I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.

€ 15 000 000,00

Partecipanti (31)

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