Objetivo
Modern nanolithography patterns have features well below 20 nm, yet wafer metrology still struggles to provide non-invasive, at-resolution measurements of critical dimensions, sidewall profiles, overlay and edge-placement errors across increasingly three-dimensional stacks. This proposal (EUVISION) tackles that gap with soft X-ray/extreme-ultraviolet (XUV) scatterometry driven by table-top high-harmonic generation (HHG). Short wavelengths provide the needed penetration and sensitivity; HHG delivers bright, broadband radiation and long coherence lengths for spectral and phase-sensitive metrology in a compact setup.
The objectives are: (1) develop higher-order XUV scatterometry beyond the 0th order to access spatially encoded information and enable true 3D profile reconstruction; (2) build and validate an inversion framework that combines rigorous electromagnetic modeling (RCWA) with optimization and physics-informed machine learning for robust parameter retrieval; (3) demonstrate process-compatible, at-resolution metrology on industry-relevant resist structures produced under controlled EUV exposure conditions; and (4) extend the method to atomically thin materials (graphene and transition-metal dichalcogenides), where single-defect perturbations can strongly degrade device performance, requiring metrology on few- to monolayer systems.
The approach integrates broadband HHG illumination, collection of multiple diffraction orders, and quantitative inversion against reference data (CD-SEM, AFM, TEM) to establish accuracy and repeatability. Sample integrity and practical tool integration are assessed throughout to ensure relevance for semiconductor manufacturing. EUVISION will deliver a validated route to fast, non-invasive, 3D wafer metrology at the device scale today, and a platform ready for future nodes that incorporate 2D materials.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ingeniería y tecnología nanotecnología nanomateriales nanoestructuras bidimensionales grafeno
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias naturales informática y ciencias de la información inteligencia artificial aprendizaje automático
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
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HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC)
PROGRAMA PRINCIPAL
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Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
HORIZON-ERC-POC - HORIZON ERC Proof of Concept Grants
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Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
(se abrirá en una nueva ventana) ERC-2026-POC
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Aportación financiera neta de la UE. Es la suma de dinero que recibe el participante, deducida la aportación de la UE a su tercero vinculado. Considera la distribución de la aportación financiera de la UE entre los beneficiarios directos del proyecto y otros tipos de participantes, como los terceros participantes.
3526 KV Utrecht
Países Bajos
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.