Cel
Modern nanolithography patterns have features well below 20 nm, yet wafer metrology still struggles to provide non-invasive, at-resolution measurements of critical dimensions, sidewall profiles, overlay and edge-placement errors across increasingly three-dimensional stacks. This proposal (EUVISION) tackles that gap with soft X-ray/extreme-ultraviolet (XUV) scatterometry driven by table-top high-harmonic generation (HHG). Short wavelengths provide the needed penetration and sensitivity; HHG delivers bright, broadband radiation and long coherence lengths for spectral and phase-sensitive metrology in a compact setup.
The objectives are: (1) develop higher-order XUV scatterometry beyond the 0th order to access spatially encoded information and enable true 3D profile reconstruction; (2) build and validate an inversion framework that combines rigorous electromagnetic modeling (RCWA) with optimization and physics-informed machine learning for robust parameter retrieval; (3) demonstrate process-compatible, at-resolution metrology on industry-relevant resist structures produced under controlled EUV exposure conditions; and (4) extend the method to atomically thin materials (graphene and transition-metal dichalcogenides), where single-defect perturbations can strongly degrade device performance, requiring metrology on few- to monolayer systems.
The approach integrates broadband HHG illumination, collection of multiple diffraction orders, and quantitative inversion against reference data (CD-SEM, AFM, TEM) to establish accuracy and repeatability. Sample integrity and practical tool integration are assessed throughout to ensure relevance for semiconductor manufacturing. EUVISION will deliver a validated route to fast, non-invasive, 3D wafer metrology at the device scale today, and a platform ready for future nodes that incorporate 2D materials.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- inżynieria i technologia nanotechnologia nanomateriały nanostruktury dwuwymiarowe grafen
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne elektromagnetyzm i elektronika urządzenie półprzewodnikowe
- nauki przyrodnicze informatyka sztuczna inteligencja uczenie maszynowe
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
-
HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC)
GŁÓWNY PROGRAM
Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego programu
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
HORIZON-ERC-POC - HORIZON ERC Proof of Concept Grants
Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego programu finansowania
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
(odnośnik otworzy się w nowym oknie) ERC-2026-POC
Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego zaproszeniaInstytucja przyjmująca
Kwota netto dofinansowania ze środków Unii Europejskiej. Suma środków otrzymanych przez uczestnika, pomniejszona o kwotę unijnego dofinansowania przekazanego powiązanym podmiotom zewnętrznym. Uwzględnia podział unijnego dofinansowania pomiędzy bezpośrednich beneficjentów projektu i pozostałych uczestników, w tym podmioty zewnętrzne.
3526 KV Utrecht
Niderlandy
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.