Obiettivo
Modern nanolithography patterns have features well below 20 nm, yet wafer metrology still struggles to provide non-invasive, at-resolution measurements of critical dimensions, sidewall profiles, overlay and edge-placement errors across increasingly three-dimensional stacks. This proposal (EUVISION) tackles that gap with soft X-ray/extreme-ultraviolet (XUV) scatterometry driven by table-top high-harmonic generation (HHG). Short wavelengths provide the needed penetration and sensitivity; HHG delivers bright, broadband radiation and long coherence lengths for spectral and phase-sensitive metrology in a compact setup.
The objectives are: (1) develop higher-order XUV scatterometry beyond the 0th order to access spatially encoded information and enable true 3D profile reconstruction; (2) build and validate an inversion framework that combines rigorous electromagnetic modeling (RCWA) with optimization and physics-informed machine learning for robust parameter retrieval; (3) demonstrate process-compatible, at-resolution metrology on industry-relevant resist structures produced under controlled EUV exposure conditions; and (4) extend the method to atomically thin materials (graphene and transition-metal dichalcogenides), where single-defect perturbations can strongly degrade device performance, requiring metrology on few- to monolayer systems.
The approach integrates broadband HHG illumination, collection of multiple diffraction orders, and quantitative inversion against reference data (CD-SEM, AFM, TEM) to establish accuracy and repeatability. Sample integrity and practical tool integration are assessed throughout to ensure relevance for semiconductor manufacturing. EUVISION will deliver a validated route to fast, non-invasive, 3D wafer metrology at the device scale today, and a platform ready for future nodes that incorporate 2D materials.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- ingegneria e tecnologia nanotecnologia nanomateriali nanostrutture bidimensionali grafene
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica semiconduttività
- scienze naturali informatica e scienze dell'informazione intelligenza artificiale apprendimento automatico
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
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HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC)
PROGRAMMA PRINCIPALE
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Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
HORIZON-ERC-POC - HORIZON ERC Proof of Concept Grants
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Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
(si apre in una nuova finestra) ERC-2026-POC
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Contributo finanziario netto dell’UE. La somma di denaro che il partecipante riceve, decurtata dal contributo dell’UE alla terza parte collegata. Tiene conto della distribuzione del contributo finanziario dell’UE tra i beneficiari diretti del progetto e altri tipi di partecipanti, come i partecipanti terzi.
3526 KV Utrecht
Paesi Bassi
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.