Objectif
The objectives of this project were to:
1.Set up an intrinsic gettering (IG) process for wafers with medium to high oxygen concentration. The process was to have been independent of the type (porn) of the substrate and able to produce a highly defective bulk region and a defectfree denudedzone. A zone thickness of around 110micron was identified as the best compromise for several factors (such as leakage current and insensitivity to latch up a soft error).
2.Characterise EPI wafer diameters of 4 and 6inches. The thickness of the epilayer was to have been in the range 510micron, for both p+ and n+substrates. This thickness range is suitable for submicron CMOS. Finally, IG and EPI processes were eventually to match in order to have intrinsically gettered, low-leakage EPI wafers for submicron CMOS devices insensitive to soft errors.
The objectives of this project were to:
set up an intrinsic gettering (IG) process for wafers with medium to high oxygen concentration;
characterise energy and process integration (EPI) wafer diameters of 4 and 6 inches;
Initial work was carried out on both the correlation between intrinsic defects, processes and device electrical performance, and also in the area of self interstitials (injected by oxygen precipitation and by source to drain ion implantation) as a cause of leakage and lifetime degradation. The final area of work addressed by the project was the design of the preaneal process to match the desired defectiveness and lifetime characteristics.
Problems in the supply of EPIwafers caused delays the first year. This situation improved in the second year, and some of the main targets were achieved at the end of the two-year contract. Initial work was carried out on both the correlation between int rinsic defects, processes and device electrical performance, and also in the area of self-interstitials (injected by oxygen precipitation and by sourcetodrain ion implantation) as a cause of leakage and lifetime degradation.
The final area of work addressed by the project was the design of the pre-anneal process to match the desired defectiveness and lifetime characteristics.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Données non disponibles
Coordinateur
20041 Agrate Brianza Milano
Italie
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.