Obiettivo
The objectives of this project were to:
1.Set up an intrinsic gettering (IG) process for wafers with medium to high oxygen concentration. The process was to have been independent of the type (porn) of the substrate and able to produce a highly defective bulk region and a defectfree denudedzone. A zone thickness of around 110micron was identified as the best compromise for several factors (such as leakage current and insensitivity to latch up a soft error).
2.Characterise EPI wafer diameters of 4 and 6inches. The thickness of the epilayer was to have been in the range 510micron, for both p+ and n+substrates. This thickness range is suitable for submicron CMOS. Finally, IG and EPI processes were eventually to match in order to have intrinsically gettered, low-leakage EPI wafers for submicron CMOS devices insensitive to soft errors.
The objectives of this project were to:
set up an intrinsic gettering (IG) process for wafers with medium to high oxygen concentration;
characterise energy and process integration (EPI) wafer diameters of 4 and 6 inches;
Initial work was carried out on both the correlation between intrinsic defects, processes and device electrical performance, and also in the area of self interstitials (injected by oxygen precipitation and by source to drain ion implantation) as a cause of leakage and lifetime degradation. The final area of work addressed by the project was the design of the preaneal process to match the desired defectiveness and lifetime characteristics.
Problems in the supply of EPIwafers caused delays the first year. This situation improved in the second year, and some of the main targets were achieved at the end of the two-year contract. Initial work was carried out on both the correlation between int rinsic defects, processes and device electrical performance, and also in the area of self-interstitials (injected by oxygen precipitation and by sourcetodrain ion implantation) as a cause of leakage and lifetime degradation.
The final area of work addressed by the project was the design of the pre-anneal process to match the desired defectiveness and lifetime characteristics.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
Questo progetto non è ancora stato classificato con EuroSciVoc.
Suggerisci i campi scientifici che ritieni più rilevanti e aiutaci a migliorare il nostro servizio di classificazione.
È necessario effettuare l’accesso o registrarsi per utilizzare questa funzione
Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Dati non disponibili
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Dati non disponibili
Coordinatore
20041 Agrate Brianza Milano
Italia
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.