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Contenuto archiviato il 2024-06-16

FINfet structures for FLASH devices

Obiettivo

The FinFLASH project aims to study a new cell architecture to overcome the scaling limits of FLASH memories beyond the 28nm technology node (year 2015 and after). The new idea is to evaluate the potentialities of the FinFET, one of the non-classical advanced MOSFETs that provides a path to CMOS scaling to the end of the RoadMap, for FLASH memory application. Main challenge will be the optimisation of the device structural design to achieve NVM functionalities. Additionally, the introduction of new materials will enable new operating principles that may provide new behaviour and functionality beyond the constraints of classical FLASH memories.

The FinFLASH approach is promising both for stand-alone NVMs, due to the extremely compact memory cell size, and for the embedded ones, due to the intrinsic compatibility of the FinFLASH process with the one of FinFET logic devices.

The main objectives will be:
1) Study on the most promising charge storage media and device designs;
2) Evaluation based on single cells and arrays of FinFLASH devices;
3) Definition of program/erase schemes at ultra-short channel lengths;
4) Development of comprehensive and predictive models both at the device and circuit level;
5) Simulation and optimisation of FinFLASH devices using TCAD tools.

During the first year preliminary evaluations of multi-gate device structural design will be made by advanced 2D/3D TCAD simulations. At the same time, the development of the critical technological modules will be treated. Both deep UV and e-beam lithography will be adopted to realize devices, on Si-bulk and SOI, with minimum size of 25nm x 25nm.

A detailed electrical and microstructural evaluation of the devices will be performed. During the second year of the project, a second run of devices will be done, allowing for the evaluation of optimised FinFLASH cells and small arrays. The optimised structures will also include new materials for the gate stack like high-k dielectrics and metal gates.

Campo scientifico (EuroSciVoc)

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Argomento(i)

Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.

Dati non disponibili

Invito a presentare proposte

Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.

Dati non disponibili

Meccanismo di finanziamento

Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.

STREP - Specific Targeted Research Project

Coordinatore

CONSIGLIO NAZIONALE DELLE RICERCHE
Contributo UE
Nessun dato
Costo totale

I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.

Nessun dato

Partecipanti (6)

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