Ziel
The STREP proposal Radical Innovation Maskless Nanolithography (RIMANA) aims to research and develop a key maskless nano-patterning technology for low to medium volume production, essential for the semiconductor industry and emerging nanotechnology industry.
RIMANA is driven by two global industrial needs:
- An ML2 tool for short run and low to medium volume leading edge device manufacturers (Logic, ASIC, Silicon Foundries)
- A fast Mask Writer for the leading edge high volume device manufacturers (MPU, DRAM, Logic)
Both global industrial needs are addressed by the proposed RIMANA project with the following overall S/T objectives and work plans:
- Concept and realisation of a new, highly innovative compact APS (Programmable Aperture Plate System), including high-speed electronics with the ability to generate a massive parallelisation of electron beams for the 32nm technology node and beyond
- Concept and realization of Data Path improvements to achieve higher data rates
- Design and generation of test benches to demonstrate sub-32nm node ML2 high throughput capabilities in resist
- Brainstorm of results with perspectives for potential industrial realisation
The key challenges will be to explore and develop essential elements for the massive parallelisation of electron-beams and electron-optics, retaining ultimate resolution down to the nanometre scale, while minimising throughput-resolution trade-offs.
The project will be carried out by a strong and diversified team from industry, academia and acclaimed European research institutes, under the leadership of IMS Nano-fabrication GmbH, an SME with extensive experience in cutting-edge charged particle nano-fabrication research and technology.
RIMANA is harmonised completely with the FP6 strategic objective IST NMP-3. In particular, RIMANA addresses the need for "maskless nano-patterning for low to medium volume production for the 32nm node and beyond".
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
- Technik und Technologie Nanotechnologie
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Halbleiterbauelement
- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften anorganische Chemie Metalloide
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Daten nicht verfügbar
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
1020 WIEN
Österreich
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.