Ziel
The objective of ASPRO is to develop and qualify a high-throughput optical wafer-stepper with a resolution of 0.4 micron that can be used in the manufacturing processes of a wide range of silicon devices, ranging from high-volume memories to low-volume ASICs. By the mid-1990s the design rules for advanced device production will very likely be based on feature sizes of 0.5 to 0.35 microns, and the lithographic production capability resulting from this project will be essential for the effective exploitation of ESPRIT silicon technology developments.
The prototype stepper PAS 5500/100 has been built with the variable NA lens and variable coherence, aimed at the 0.35 micron semiconductor market. It has been fully characterized and is now commercially available. Improvements in illuminator efficiency and filter transmission have lead to higher stepper throughput as well as longer component lifetime.
The characteristics of the new stepper are:
0.4 micron resolution using i-line technology under production conditions;
large field size (30-32.5 mm);
variable numerical aperture, enabling trade offs between resolution and field size;
variable illumination coherence, enabling the evaluation of phase shift technology for geometries below 0.4 micron.
The targeted characteristics of the new stepper are:
- 0.4 micron resolution using i-line technology under production conditions
- large field-size (30-32.5 mm)
- variable numerical aperture, enabling trade-offs between resolution and field size
- variable illumination coherence, enabling the evaluation of phase shift technology for geometries below 0.4 micron.
Substantial user involvement is the key factor in successfully developing and applying advanced wafer fabrication equipment, and the new wafer-stepper will be evaluated under pilot production conditions at Centre Commun CNET SGS-Thomson, with the active participation of IBM and Philips. The wide range of different products manufactured by these partners will help the equipment manufacturer adapt the stepper for various roles. An equipment improvement and contamination reduction programme will be set up to facilitate this process.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
- Technik und Technologie Maschinenbau Produktionstechnik
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Halbleiterbauelement
- Naturwissenschaften Mathematik reine Mathematik Geometrie
- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften anorganische Chemie Metalloide
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Daten nicht verfügbar
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Daten nicht verfügbar
Koordinator
5503 HN VELDHOVEN
Niederlande
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.