Obiettivo
The objective of ASPRO is to develop and qualify a high-throughput optical wafer-stepper with a resolution of 0.4 micron that can be used in the manufacturing processes of a wide range of silicon devices, ranging from high-volume memories to low-volume ASICs. By the mid-1990s the design rules for advanced device production will very likely be based on feature sizes of 0.5 to 0.35 microns, and the lithographic production capability resulting from this project will be essential for the effective exploitation of ESPRIT silicon technology developments.
The prototype stepper PAS 5500/100 has been built with the variable NA lens and variable coherence, aimed at the 0.35 micron semiconductor market. It has been fully characterized and is now commercially available. Improvements in illuminator efficiency and filter transmission have lead to higher stepper throughput as well as longer component lifetime.
The characteristics of the new stepper are:
0.4 micron resolution using i-line technology under production conditions;
large field size (30-32.5 mm);
variable numerical aperture, enabling trade offs between resolution and field size;
variable illumination coherence, enabling the evaluation of phase shift technology for geometries below 0.4 micron.
The targeted characteristics of the new stepper are:
- 0.4 micron resolution using i-line technology under production conditions
- large field-size (30-32.5 mm)
- variable numerical aperture, enabling trade-offs between resolution and field size
- variable illumination coherence, enabling the evaluation of phase shift technology for geometries below 0.4 micron.
Substantial user involvement is the key factor in successfully developing and applying advanced wafer fabrication equipment, and the new wafer-stepper will be evaluated under pilot production conditions at Centre Commun CNET SGS-Thomson, with the active participation of IBM and Philips. The wide range of different products manufactured by these partners will help the equipment manufacturer adapt the stepper for various roles. An equipment improvement and contamination reduction programme will be set up to facilitate this process.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- ingegneria e tecnologia ingegneria meccanica ingegnerizzazione dei prodotti
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica semiconduttività
- scienze naturali matematica matematica pura geometria
- scienze naturali scienze chimiche chimica inorganica metalloidi
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Dati non disponibili
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Dati non disponibili
Coordinatore
5503 HN VELDHOVEN
Paesi Bassi
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.