Ziel
- Assess SAPI "Chamber-Flow" acid pre-furnace in ELMOS new 150 mm fab-line.
- Establish and meet target specification for the quality of the cleaning process in terms of particles (<0.05/cm2 at 0.3 micron ), metal contamination (<1.0 x 10atoms/c2 for common metals), and surface roughness (<0.5 nm over 100 x 100 micron.
- Establish cost effective, "Caro"-HF-last, cleaning process to above specification as first step.
- Establish "High-Rel", highest quality, cleaning process to improved specification as second step.
- Correlate cleaning efficiency with actual yield on reliability data from running production.
- Characterise the "Chamber-Flow" in terms of CoO, uptime (>95%), MTBF (>500 Hrs), MTTR (<5 Hrs), reproducibility and safety.
The "Chamber-Flow" acid wafer cleaning equipment of SAPI provides an ideal capability for an ASIC mini-fab, such as ELMOS or ZMD, to break away from the conventional robotic wet bench acid cleaning systems, with their high operating costs and over-capacity (1000 wafers/hour), and to use the appropriate capacity of a smaller modular system. Several other advantages, like small footprint, complete air-free "dry-to-dry" process and "piston-effect" rinsing bring advantages over robotic wet benches.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
44227 Dortmund
Deutschland
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.