Objetivo
- assessment of the capabilities of a newly developed deep-UV stepper from ASM-L (PAS 500/300) for the volume production of 0,25 micron CMOS integrated circuits;
- evaluation of the stability of key lithographic parameters, such as, resolution, depth of focus, exposure latitude and proximity effects;
- study of lens heating effects;
- comparative study of the image sensor focus monitoring technique with alternative techniques;
- in-depth study of reliability issues such as mean time between failure (MTBF), mean time to repair (MTTR), mean time between incident (MTBI);
- analysis of cost of ownership in comparison with i-line steppers, taking into account capital investment, environmental issues, operational cost, material consumption and total installed wafer capacity;
- definition of updated specifications for future deep-UV steppers;
- initial evaluation of the PAS 500/300 performance for 0,18 micron CMOS technologies.
The overall goal of this SEA project is to perform an in-depth assessment of the ASM-L PAS 500/300 deep-UV Wafer stepper for the volume production of 0,25 micron CMOS devices and to explore its potential for 0,18 micron geometries. The assessment site is at IMEC, while industrial users from Europe, the USA, Korea and Taiwan will be involved in the assessment. The project should result in the definition of industrial specifications for future deep-UV steppers, thereby strengthening the world-wide market position of the European equipment maker involved.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ingeniería y tecnología ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información ingeniería electrónica sensores
- ciencias naturales matemáticas matemáticas puras geometría
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
3001 Leuven
Bélgica
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.