Obiettivo
- assessment of the capabilities of a newly developed deep-UV stepper from ASM-L (PAS 500/300) for the volume production of 0,25 micron CMOS integrated circuits;
- evaluation of the stability of key lithographic parameters, such as, resolution, depth of focus, exposure latitude and proximity effects;
- study of lens heating effects;
- comparative study of the image sensor focus monitoring technique with alternative techniques;
- in-depth study of reliability issues such as mean time between failure (MTBF), mean time to repair (MTTR), mean time between incident (MTBI);
- analysis of cost of ownership in comparison with i-line steppers, taking into account capital investment, environmental issues, operational cost, material consumption and total installed wafer capacity;
- definition of updated specifications for future deep-UV steppers;
- initial evaluation of the PAS 500/300 performance for 0,18 micron CMOS technologies.
The overall goal of this SEA project is to perform an in-depth assessment of the ASM-L PAS 500/300 deep-UV Wafer stepper for the volume production of 0,25 micron CMOS devices and to explore its potential for 0,18 micron geometries. The assessment site is at IMEC, while industrial users from Europe, the USA, Korea and Taiwan will be involved in the assessment. The project should result in the definition of industrial specifications for future deep-UV steppers, thereby strengthening the world-wide market position of the European equipment maker involved.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- ingegneria e tecnologia ingegneria elettrica, ingegneria elettronica, ingegneria informatica ingegneria elettronica sensori
- scienze naturali matematica matematica pura geometria
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Coordinatore
3001 Leuven
Belgio
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.