Objectif
- assessment of the capabilities of a newly developed deep-UV stepper from ASM-L (PAS 500/300) for the volume production of 0,25 micron CMOS integrated circuits;
- evaluation of the stability of key lithographic parameters, such as, resolution, depth of focus, exposure latitude and proximity effects;
- study of lens heating effects;
- comparative study of the image sensor focus monitoring technique with alternative techniques;
- in-depth study of reliability issues such as mean time between failure (MTBF), mean time to repair (MTTR), mean time between incident (MTBI);
- analysis of cost of ownership in comparison with i-line steppers, taking into account capital investment, environmental issues, operational cost, material consumption and total installed wafer capacity;
- definition of updated specifications for future deep-UV steppers;
- initial evaluation of the PAS 500/300 performance for 0,18 micron CMOS technologies.
The overall goal of this SEA project is to perform an in-depth assessment of the ASM-L PAS 500/300 deep-UV Wafer stepper for the volume production of 0,25 micron CMOS devices and to explore its potential for 0,18 micron geometries. The assessment site is at IMEC, while industrial users from Europe, the USA, Korea and Taiwan will be involved in the assessment. The project should result in the definition of industrial specifications for future deep-UV steppers, thereby strengthening the world-wide market position of the European equipment maker involved.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- ingénierie et technologie génie électrique, génie électronique, génie de l’information ingénierie électronique capteurs
- sciences naturelles mathématiques mathématiques pures géométrie
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
3001 Leuven
Belgique
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.