Investigation of Si wafer damage in manufacturing processes

Projektinformationen

SIDAM

ID Finanzhilfevereinbarung: 216382

Projekt abgeschlossen

Startdatum 1 Januar 2008

Enddatum 30 Juni 2011

Finanziert unter

• Specific Programme "Cooperation": Information and communication technologies

Gesamtkosten € 2 647 698,00

EU-Beitrag € 2 049 997,00

Koordiniert durch

UNIVERSITY OF DURHAM
United Kingdom

Sonstige Dokumente

• Publishable Summary Period 2
• Publishable Summary Period1
• Final Publishable Summary Report
• Publishable Summary P3