Investigation of Si wafer damage in manufacturing processes

Informacje na temat projektu

SIDAM

Identyfikator umowy o grant: 216382

Projekt został zamknięty

Data rozpoczęcia 1 Stycznia 2008

Data zakończenia 30 Czerwca 2011

Finansowanie w ramach

• Specific Programme "Cooperation": Information and communication technologies

Koszt całkowity

€ 2 647 698,00

Wkład UE

€ 2 049 997,00

Koordynowany przez

UNIVERSITY OF DURHAM
United Kingdom

Inne dokumenty

• Publishable Summary Period 2
• Publishable Summary Period1
• Final Publishable Summary Report