Skip to main content

Copper Interconnects for Advanced Performance and Reliability

Descripción del proyecto

Next-Generation Nanoelectronics Components and Electronics Integration The objective of CopPeR was to develop a seed-less copper deposition process and 300 mm wafer prototype equipment for sub-32 nm semiconductor interconnect manufacturing.

Convocatoria de propuestas

FP7-ICT-2007-1
Consulte otros proyectos de esta convocatoria

Régimen de financiación

CP - Collaborative project (generic)

Coordinador

TECHNIKON FORSCHUNGS- UND PLANUNGSGESELLSCHAFT MBH
Dirección
Burgplatz 3A
9500 Villach
Austria
Tipo de actividad
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Aportación de la UE
€ 251 016
Contacto administrativo
Klaus-Michael KOCH (Dr.)

Participantes (7)

LAM RESEARCH AG
Austria
Aportación de la UE
€ 779 351
Dirección
Sez-strasse 1
9500 Villach
Tipo de actividad
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Contacto administrativo
Fritz Pertl (Mr.)
TECHNISCHE UNIVERSITAET GRAZ
Austria
Aportación de la UE
€ 525 452
Dirección
Rechbauerstrasse 12
8010 Graz
Tipo de actividad
Higher or Secondary Education Establishments
Contacto administrativo
Gerald Kothleitner (Prof.)
ELSYCA NV
Bélgica
Aportación de la UE
€ 359 502
Dirección
Vaartdijk 3 Bus 603
3018 Wijgmaal
Tipo de actividad
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Contacto administrativo
Tania Van Cauwenberghe (Ms)
KATHOLIEKE UNIVERSITEIT LEUVEN
Bélgica
Aportación de la UE
€ 641 930
Dirección
Oude Markt 13
3000 Leuven
Tipo de actividad
Higher or Secondary Education Establishments
Contacto administrativo
Marion Wolpers (Ms)
VRIJE UNIVERSITEIT BRUSSEL
Bélgica
Aportación de la UE
€ 158 841
Dirección
Pleinlaan 2
1050 Brussel
Tipo de actividad
Higher or Secondary Education Establishments
Contacto administrativo
Martina Follet (Ms.)
INFINEON TECHNOLOGIES AG
Alemania
Aportación de la UE
€ 245 918
Dirección
Am Campeon 1-15
85579 Neubiberg
Tipo de actividad
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Contacto administrativo
Bernhard Scholz (Mr)
CORMET OY
Finlandia
Aportación de la UE
€ 187 990
Dirección
Luutnantintie 3 A
00410 Helsinki
Tipo de actividad
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Contacto administrativo
Juha Piippo (Dr.)