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Copper Interconnects for Advanced Performance and Reliability

Projektbeschreibung


Next-Generation Nanoelectronics Components and Electronics Integration
The objective of CopPeR was to develop a seed-less copper deposition process and 300 mm wafer prototype equipment for sub-32 nm semiconductor interconnect manufacturing.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

FP7-ICT-2007-1
Andere Projekte für diesen Aufruf anzeigen

Koordinator

TECHNIKON FORSCHUNGS- UND PLANUNGSGESELLSCHAFT MBH
Adresse
Burgplatz 3A
9500 Villach
Österreich
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
EU-Beitrag
€ 251 016
Kontakt Verwaltung
Klaus-Michael KOCH (Dr.)

Beteiligte (7)

LAM RESEARCH AG
Österreich
EU-Beitrag
€ 779 351
Adresse
Sez-strasse 1
9500 Villach
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Kontakt Verwaltung
Fritz Pertl (Mr.)
TECHNISCHE UNIVERSITAET GRAZ
Österreich
EU-Beitrag
€ 525 452
Adresse
Rechbauerstrasse 12
8010 Graz
Aktivitätstyp
Higher or Secondary Education Establishments
Kontakt Verwaltung
Gerald Kothleitner (Prof.)
ELSYCA NV
Belgien
EU-Beitrag
€ 359 502
Adresse
Vaartdijk 3 Bus 603
3018 Wijgmaal
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Kontakt Verwaltung
Tania Van Cauwenberghe (Ms)
KATHOLIEKE UNIVERSITEIT LEUVEN
Belgien
EU-Beitrag
€ 641 930
Adresse
Oude Markt 13
3000 Leuven
Aktivitätstyp
Higher or Secondary Education Establishments
Kontakt Verwaltung
Marion Wolpers (Ms)
VRIJE UNIVERSITEIT BRUSSEL
Belgien
EU-Beitrag
€ 158 841
Adresse
Pleinlaan 2
1050 Brussel
Aktivitätstyp
Higher or Secondary Education Establishments
Kontakt Verwaltung
Martina Follet (Ms.)
INFINEON TECHNOLOGIES AG
Deutschland
EU-Beitrag
€ 245 918
Adresse
Am Campeon 1-15
85579 Neubiberg
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Kontakt Verwaltung
Bernhard Scholz (Mr)
CORMET OY
Finnland
EU-Beitrag
€ 187 990
Adresse
Luutnantintie 3 A
00410 Helsinki
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Kontakt Verwaltung
Juha Piippo (Dr.)