Objetivo
- Development of back-end processing steps and modules for 0.25 micron CMOS by 4Q96.
- Implications of using low supply voltage (0.9 - 1.2 V) for 0.25 micron. CMOS will be assessed through the fabrication of specific test circuits. Measurement data will be available by 4Q96.
- Based upon the work of EP 9159 NOVA, concepts for 0.18 micron CMOS front-end modules will be investigated through the fabrication and testing of NMOST and PMOST devices. A lateral isolation module for 0.18 micron CMOS will be developed by 1Q97.
- Various techniques will be tested for the extension of 248 nm DUV lithography and the feasibility of 0.18 micron CMOS front-end patterning will be demonstrated.
- Insight into the key process parameters affecting device performance and reliability will be gained. Benchmarking with respect to competitive results obtained world-wide will be performed
The priorities of the European semiconductor industry will be supported through the assessment of key options for advanced CMOS process modules. The project is in phase with the most advanced world-wide efforts currently addressing 0.18 micron device architectures and defining 0.25 micron interconnect schemes. Target device specifications and lay-out rules for these technological modules will be defined in close interaction with industrial representatives. The results will be assessed and later exploited by the industrial partners in order to reduce their development costs (maximising the utilisation and minimising the risk). The 0.25 micron CMOS front-end process modules developed in EP 8002 ADEQUAT-2 will be modified for low-voltage applications.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
3030 Heverlee
Bélgica
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.