Ziel
- Development of back-end processing steps and modules for 0.25 micron CMOS by 4Q96.
- Implications of using low supply voltage (0.9 - 1.2 V) for 0.25 micron. CMOS will be assessed through the fabrication of specific test circuits. Measurement data will be available by 4Q96.
- Based upon the work of EP 9159 NOVA, concepts for 0.18 micron CMOS front-end modules will be investigated through the fabrication and testing of NMOST and PMOST devices. A lateral isolation module for 0.18 micron CMOS will be developed by 1Q97.
- Various techniques will be tested for the extension of 248 nm DUV lithography and the feasibility of 0.18 micron CMOS front-end patterning will be demonstrated.
- Insight into the key process parameters affecting device performance and reliability will be gained. Benchmarking with respect to competitive results obtained world-wide will be performed
The priorities of the European semiconductor industry will be supported through the assessment of key options for advanced CMOS process modules. The project is in phase with the most advanced world-wide efforts currently addressing 0.18 micron device architectures and defining 0.25 micron interconnect schemes. Target device specifications and lay-out rules for these technological modules will be defined in close interaction with industrial representatives. The results will be assessed and later exploited by the industrial partners in order to reduce their development costs (maximising the utilisation and minimising the risk). The 0.25 micron CMOS front-end process modules developed in EP 8002 ADEQUAT-2 will be modified for low-voltage applications.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
3030 Heverlee
Belgien
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.