Objectif
- Development of back-end processing steps and modules for 0.25 micron CMOS by 4Q96.
- Implications of using low supply voltage (0.9 - 1.2 V) for 0.25 micron. CMOS will be assessed through the fabrication of specific test circuits. Measurement data will be available by 4Q96.
- Based upon the work of EP 9159 NOVA, concepts for 0.18 micron CMOS front-end modules will be investigated through the fabrication and testing of NMOST and PMOST devices. A lateral isolation module for 0.18 micron CMOS will be developed by 1Q97.
- Various techniques will be tested for the extension of 248 nm DUV lithography and the feasibility of 0.18 micron CMOS front-end patterning will be demonstrated.
- Insight into the key process parameters affecting device performance and reliability will be gained. Benchmarking with respect to competitive results obtained world-wide will be performed
The priorities of the European semiconductor industry will be supported through the assessment of key options for advanced CMOS process modules. The project is in phase with the most advanced world-wide efforts currently addressing 0.18 micron device architectures and defining 0.25 micron interconnect schemes. Target device specifications and lay-out rules for these technological modules will be defined in close interaction with industrial representatives. The results will be assessed and later exploited by the industrial partners in order to reduce their development costs (maximising the utilisation and minimising the risk). The 0.25 micron CMOS front-end process modules developed in EP 8002 ADEQUAT-2 will be modified for low-voltage applications.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
3030 Heverlee
Belgique
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.