Description du projet
Micro/nanosystems
SMARTIEHS develops a smart, high-speed, cost effective and flexible inspection system for production of Micro(Opto)ElectroMechanicalSystems (M(O)EMS). SMARTIEHS decreases the inspection time of a wafer by a factor of 100. It cuts production costs and shorten the time to market.To achieve this, SMARTIEHS develops an innovative measurement concept: a probing wafer consisting of an array of micro optical sensors is adapted to and aligned with the wafer under test. The design and production of the micro-optical interferometer array inspects 100 M(O)EMS structures within only one measurement cycle. A multifunctional approach of the measurement concept allows the inspection of passive and active parameters within one inspection system. A novel smart pixel detector array is developed.SMARTIEHS provides a multifunctional design with two interferometer configurations; a low coherent interferometer and a laser interferometer. The project focuses on the measurement of shape and deformation, resonance frequency and vibration amplitude distribution.The SMARTIEHS technology will be validated and demonstrated with industrial end users.The work in SMARTIEHS will be organised in eight work packages: Project management, Inspection system design, Micro-optical interferometer system design, Micro-optical wafer production, Smart pixel camera development, inspection system integration, Inspection system test and validation, Exploitation and dissemination.The SMARTIEHS consortium has RTD partners and industrial users: SINTEF (low-coherence interferometry, micro optics), WUT (laser interferometry, micro optics), Fraunhofer (production of Diffractive Optical Elements), CNRS (production of refractive optics, micro lenses), CSEM (design and production of smart pixel detector arrays), Heliotis (exploitation), IMMS (macro design of the inspection system), and Techfab (end user and validation).SMARTIEHS lasts 38 months and has a budget of 3,77M�. Requested EC contribution is 2,85 M�
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- ingénierie et technologie génie électrique, génie électronique, génie de l’information ingénierie électronique capteurs capteurs optiques
- sciences naturelles sciences physiques optique physique des lasers
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
FP7-ICT-2007-2
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Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
7034 Trondheim
Norvège
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.