Opis projektu
Micro/nanosystems
SMARTIEHS develops a smart, high-speed, cost effective and flexible inspection system for production of Micro(Opto)ElectroMechanicalSystems (M(O)EMS). SMARTIEHS decreases the inspection time of a wafer by a factor of 100. It cuts production costs and shorten the time to market.To achieve this, SMARTIEHS develops an innovative measurement concept: a probing wafer consisting of an array of micro optical sensors is adapted to and aligned with the wafer under test. The design and production of the micro-optical interferometer array inspects 100 M(O)EMS structures within only one measurement cycle. A multifunctional approach of the measurement concept allows the inspection of passive and active parameters within one inspection system. A novel smart pixel detector array is developed.SMARTIEHS provides a multifunctional design with two interferometer configurations; a low coherent interferometer and a laser interferometer. The project focuses on the measurement of shape and deformation, resonance frequency and vibration amplitude distribution.The SMARTIEHS technology will be validated and demonstrated with industrial end users.The work in SMARTIEHS will be organised in eight work packages: Project management, Inspection system design, Micro-optical interferometer system design, Micro-optical wafer production, Smart pixel camera development, inspection system integration, Inspection system test and validation, Exploitation and dissemination.The SMARTIEHS consortium has RTD partners and industrial users: SINTEF (low-coherence interferometry, micro optics), WUT (laser interferometry, micro optics), Fraunhofer (production of Diffractive Optical Elements), CNRS (production of refractive optics, micro lenses), CSEM (design and production of smart pixel detector arrays), Heliotis (exploitation), IMMS (macro design of the inspection system), and Techfab (end user and validation).SMARTIEHS lasts 38 months and has a budget of 3,77M�. Requested EC contribution is 2,85 M�
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- inżynieria i technologia inżynieria elektryczna, inżynieria elektroniczna, inżynieria informatyczna inżynieria elektroniczna czujniki czujniki optyczne
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne optyka fizyka laserów
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Przepraszamy… podczas wykonywania operacji wystąpił nieoczekiwany błąd.
Wymagane uwierzytelnienie. Powodem może być wygaśnięcie sesji.
Dziękujemy za przesłanie opinii. Wkrótce otrzymasz wiadomość e-mail z potwierdzeniem zgłoszenia. W przypadku wybrania opcji otrzymywania powiadomień o statusie zgłoszenia, skontaktujemy się również gdy status ulegnie zmianie.
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
FP7-ICT-2007-2
Zobacz inne projekty w ramach tego zaproszenia
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Koordynator
7034 Trondheim
Norwegia
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.