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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
CORDIS
Contenido archivado el 2024-06-18

High volume piezoelectric thin film production process for microsystems

Objetivo

This proposal will address high volume production of MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems) with a piezoelectric thin film as active element (piezoMEMS). This technology can fulfil many of the requirements of sensors and actuators in tomorrow’s smart systems, as a result of the large displacements, high sensing functionality and high energy densities that can be obtained, compared to pure Si-MEMS. As a consequence, they are very attractive for industries like automotive, aerospace, medical, telecom and consumer electronics. Large European companies tend to buy devices like sensors for their products, rather than to develop processes and devices themselves. European SMEs are natural providers of such devices. However, since there are no automated facilities in Europe for volume production of piezoelectric microsystems, they are not able to commercialize piezoMEMS products. A combined effort by European research institutes, industry and SMEs can close this gap. The main vision of piezoVolume is to provide the means for high throughput, cost-effective and robust manufacturing of piezoelectric microsystems in Europe, where SMEs are both device developers and production technology providers. A set of procedures, guidelines and fabrication tools will be developed, enabling short time to market for new device concepts. piezoVolume will combine three leading research groups in Europe, which are already acting worldwide in the piezoMEMS scientific community, with highly relevant and skilled technological partners, to build a consortium that is able to develop a full production line for piezoMEMS in Europe for the first time. Readily available cost-effective wafer based batch processing of piezoMEMS will lower the threshold for industry acceptance and be the enabling technology to realise new products based on piezoMEMS.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: https://op.europa.eu/es/web/eu-vocabularies/euroscivoc.

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Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

FP7-NMP-2008-SME-2
Consulte otros proyectos de esta convocatoria

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

CP-TP - Collaborative Project targeted to a special group (such as SMEs)

Coordinador

STIFTELSEN SINTEF
Aportación de la UE
€ 1 007 264,00
Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

Sin datos

Participantes (9)

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