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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
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Contenido archivado el 2024-05-29

Thermal Characterization of Advanced Material in Ultra-scaled Microelectronic Devices

Objetivo

The constant improvement of microelectronic devices is based on their miniaturization from the micrometer to the nanometre scale. This continuous scaling down calls for new materials and new device concepts. At the nano-scale, the thermo-physical properties of the materials have a fundamental impact on the electronic behaviour of the device. Despite this, a non- destructive experimental technique capable of determining the thermophysical properties of the key materials in a real microelectronic device is still lacking. The goal of this project is to develop a technique, based on the infrared radiation measurement, capable of addressing the device nano-scale. To achieve this objective the experimental technique must be combined with the heat transfer modelling in the device under investigation.

The project will focus on specific microelectronic devices such as ultra-scaled metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (MOSFETs) as well as novel non-volatile memories (NVM) based on phase-change materials (PC M). In the latter case the determination of the thermal properties of the active material (calchogenides) and of the heater (TiN) is very important for the device functional characterization. An additional objective of the project is also to use the developed technique to address the thermo-physical properties of thin films, such as oxides with high and low dielectric constant, which today are considered as substitutes of silicon oxide both in the front as well as in the back end of near future CMOS technology.

This study will be carried out in collaboration with an important European industrial partner, STMicroelectronics. This work will therefore contribute to a relevant technological evolution in the field of microelectronics with consequent economical repercussions.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

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Palabras clave

Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

FP6-2004-MOBILITY-5
Consulte otros proyectos de esta convocatoria

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

EIF - Marie Curie actions-Intra-European Fellowships

Coordinador

CONSIGLIO NAZIONALE DELLE RICERCHE
Aportación de la UE
Sin datos
Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

Sin datos
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