Obiettivo
The constant improvement of microelectronic devices is based on their miniaturization from the micrometer to the nanometre scale. This continuous scaling down calls for new materials and new device concepts. At the nano-scale, the thermo-physical properties of the materials have a fundamental impact on the electronic behaviour of the device. Despite this, a non- destructive experimental technique capable of determining the thermophysical properties of the key materials in a real microelectronic device is still lacking. The goal of this project is to develop a technique, based on the infrared radiation measurement, capable of addressing the device nano-scale. To achieve this objective the experimental technique must be combined with the heat transfer modelling in the device under investigation.
The project will focus on specific microelectronic devices such as ultra-scaled metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (MOSFETs) as well as novel non-volatile memories (NVM) based on phase-change materials (PC M). In the latter case the determination of the thermal properties of the active material (calchogenides) and of the heater (TiN) is very important for the device functional characterization. An additional objective of the project is also to use the developed technique to address the thermo-physical properties of thin films, such as oxides with high and low dielectric constant, which today are considered as substitutes of silicon oxide both in the front as well as in the back end of near future CMOS technology.
This study will be carried out in collaboration with an important European industrial partner, STMicroelectronics. This work will therefore contribute to a relevant technological evolution in the field of microelectronics with consequent economical repercussions.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- scienze naturali scienze chimiche chimica inorganica metalli di post-transizione
- ingegneria e tecnologia ingegneria dei materiali rivestimenti e pellicole
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica semiconduttività
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica microelettronica
- scienze naturali scienze chimiche chimica inorganica metalloidi
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Parole chiave
Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).
Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).
Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
FP6-2004-MOBILITY-5
Vedi altri progetti per questo bando
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Coordinatore
ROMA
Italia
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.