Objectif
The constant improvement of microelectronic devices is based on their miniaturization from the micrometer to the nanometre scale. This continuous scaling down calls for new materials and new device concepts. At the nano-scale, the thermo-physical properties of the materials have a fundamental impact on the electronic behaviour of the device. Despite this, a non- destructive experimental technique capable of determining the thermophysical properties of the key materials in a real microelectronic device is still lacking. The goal of this project is to develop a technique, based on the infrared radiation measurement, capable of addressing the device nano-scale. To achieve this objective the experimental technique must be combined with the heat transfer modelling in the device under investigation.
The project will focus on specific microelectronic devices such as ultra-scaled metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (MOSFETs) as well as novel non-volatile memories (NVM) based on phase-change materials (PC M). In the latter case the determination of the thermal properties of the active material (calchogenides) and of the heater (TiN) is very important for the device functional characterization. An additional objective of the project is also to use the developed technique to address the thermo-physical properties of thin films, such as oxides with high and low dielectric constant, which today are considered as substitutes of silicon oxide both in the front as well as in the back end of near future CMOS technology.
This study will be carried out in collaboration with an important European industrial partner, STMicroelectronics. This work will therefore contribute to a relevant technological evolution in the field of microelectronics with consequent economical repercussions.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métal pauvre
- ingénierie et technologie ingénierie des materiaux revêtement et films
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique microélectronique
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
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Mots‑clés
Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).
Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).
Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
FP6-2004-MOBILITY-5
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Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
ROMA
Italie
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.