Descripción del proyecto
Nanoelectronics Technology
Extends the capabilities of TCAD to the modelling of leakage currents and technologies for low-leakage ultra-shallow junctions.
Within previous European projects process simulation has been brought to a state which allows in industrial environments a sufficiently accurate simulation of doping profiles in advanced CMOS technologies. Important electrical characteristics of core CMOS devices can now be predicted from scratch or with a minimum calibration effort. However, concepts towards low-power electronics, smart power applications, CMOS image sensors, and CMOS derivatives providing extra functionalities are still not sufficiently supported by TCAD. This concerns especially the prediction of leakage currents in such or parasitic devices caused by electrically active defects that remain after processing, and alternative doping techniques like plasma immersion ion implantation, low-temperature implantation, diversified cocktail implants and laser annealing which are considered for low-leakage ultra shallow junctions. The lack of suitable models that can be used in the early stages of industrial research and development inhibits the necessary cost reduction in the development of devices for which Europe is still at the forefront. The Atemox project will develop the full set of missing models and implement and include them into the Sentaurus TCAD platform of Synopsys so that they are of immediate value to the European semiconductor industry. The integrated models will finally be evaluated by STMicroelectronics with respect to industrial needs. To reach these ambitious goals, European companies active in complementary fields of competence and leading European research institutes have formed a consortium that is well prepared to expertly cover all fields from experiment via characterization and modelling to simulation.
Within previous European projects with major contributions by the current proposers, process simulation has been brought to a state which allows in industrial environments a sufficiently accurate simulation of doping profiles in advanced CMOS technologies. Important electrical characteristics of core CMOS devices can now be predicted from scratch or with a minimum calibration effort. However, concepts towards low-power electronics, smart power applications, CMOS image sensors, and CMOS derivatives providing extra functionalities are still not sufficiently supported by TCAD. This concerns especially the prediction of leakage currents in such or parasitic devices caused by electrically active defects that remain after processing, and alternative doping techniques like plasma immersion ion implantation, low-temperature implantation, diversified cocktail implants and laser annealing which are considered for low-leakage ultra shallow junctions. The lack of suitable models that can be used in the early stages of industrial R&D inhibits the necessary cost reduction in the development of devices for which Europe is still at the forefront. Our project will develop the full set of missing models and implement and include them into the Sentaurus TCAD platform of Synopsys so that they are of immediate value to the European semiconductor industry. The integrated models will finally be evaluated by STMicroelectronics with respect to industrial needs. To reach these ambitious goals, a consortium of European companies active in complementary fields of competence (STMicroelectronics: device manufacturing, Synopsys: TCAD software, Exico, IBS: equipment production, Probion, Semilab: characterization) and leading European research institutes (CNR-IMM, CNRS-LAAS/CEMES, ETH-Zurich, Fraunhofer-IISB, Univ. Newcastle) has been formed which, together, is well prepared to expertly cover all fields from experiment via characterization and modelling to simulation.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales informática y ciencias de la información software
- ingeniería y tecnología ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información ingeniería electrónica sensores
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias médicas y de la salud biotecnología médica implantes
- ciencias naturales ciencias físicas óptica física del láser
Para utilizar esta función, debe iniciar sesión o registrarse
Le pedimos disculpas, pero se ha producido un error inesperado durante la ejecución.
Necesita estar autentificado. Puede que su sesión haya finalizado.
Gracias por su comentario. En breve recibirá un correo electrónico para confirmar el envío. Si ha seleccionado que se le notifique sobre el estado del informe, también se le contactará cuando el estado del informe cambie.
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
FP7-ICT-2009-5
Consulte otros proyectos de esta convocatoria
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
80686 MUNCHEN
Alemania
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.