Opis projektu
Nanoelectronics Technology
Extends the capabilities of TCAD to the modelling of leakage currents and technologies for low-leakage ultra-shallow junctions.
Within previous European projects process simulation has been brought to a state which allows in industrial environments a sufficiently accurate simulation of doping profiles in advanced CMOS technologies. Important electrical characteristics of core CMOS devices can now be predicted from scratch or with a minimum calibration effort. However, concepts towards low-power electronics, smart power applications, CMOS image sensors, and CMOS derivatives providing extra functionalities are still not sufficiently supported by TCAD. This concerns especially the prediction of leakage currents in such or parasitic devices caused by electrically active defects that remain after processing, and alternative doping techniques like plasma immersion ion implantation, low-temperature implantation, diversified cocktail implants and laser annealing which are considered for low-leakage ultra shallow junctions. The lack of suitable models that can be used in the early stages of industrial research and development inhibits the necessary cost reduction in the development of devices for which Europe is still at the forefront. The Atemox project will develop the full set of missing models and implement and include them into the Sentaurus TCAD platform of Synopsys so that they are of immediate value to the European semiconductor industry. The integrated models will finally be evaluated by STMicroelectronics with respect to industrial needs. To reach these ambitious goals, European companies active in complementary fields of competence and leading European research institutes have formed a consortium that is well prepared to expertly cover all fields from experiment via characterization and modelling to simulation.
Within previous European projects with major contributions by the current proposers, process simulation has been brought to a state which allows in industrial environments a sufficiently accurate simulation of doping profiles in advanced CMOS technologies. Important electrical characteristics of core CMOS devices can now be predicted from scratch or with a minimum calibration effort. However, concepts towards low-power electronics, smart power applications, CMOS image sensors, and CMOS derivatives providing extra functionalities are still not sufficiently supported by TCAD. This concerns especially the prediction of leakage currents in such or parasitic devices caused by electrically active defects that remain after processing, and alternative doping techniques like plasma immersion ion implantation, low-temperature implantation, diversified cocktail implants and laser annealing which are considered for low-leakage ultra shallow junctions. The lack of suitable models that can be used in the early stages of industrial R&D inhibits the necessary cost reduction in the development of devices for which Europe is still at the forefront. Our project will develop the full set of missing models and implement and include them into the Sentaurus TCAD platform of Synopsys so that they are of immediate value to the European semiconductor industry. The integrated models will finally be evaluated by STMicroelectronics with respect to industrial needs. To reach these ambitious goals, a consortium of European companies active in complementary fields of competence (STMicroelectronics: device manufacturing, Synopsys: TCAD software, Exico, IBS: equipment production, Probion, Semilab: characterization) and leading European research institutes (CNR-IMM, CNRS-LAAS/CEMES, ETH-Zurich, Fraunhofer-IISB, Univ. Newcastle) has been formed which, together, is well prepared to expertly cover all fields from experiment via characterization and modelling to simulation.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- nauki przyrodnicze informatyka oprogramowanie
- inżynieria i technologia inżynieria elektryczna, inżynieria elektroniczna, inżynieria informatyczna inżynieria elektroniczna czujniki
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne elektromagnetyzm i elektronika urządzenie półprzewodnikowe
- medycyna i nauki o zdrowiu biotechnologia medyczna implanty
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne optyka fizyka laserów
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Przepraszamy… podczas wykonywania operacji wystąpił nieoczekiwany błąd.
Wymagane uwierzytelnienie. Powodem może być wygaśnięcie sesji.
Dziękujemy za przesłanie opinii. Wkrótce otrzymasz wiadomość e-mail z potwierdzeniem zgłoszenia. W przypadku wybrania opcji otrzymywania powiadomień o statusie zgłoszenia, skontaktujemy się również gdy status ulegnie zmianie.
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
FP7-ICT-2009-5
Zobacz inne projekty w ramach tego zaproszenia
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Koordynator
80686 MUNCHEN
Niemcy
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.