Objectif
The aim is to evaluate how far the MOS concept can be scaled down by pushing today's existing state-of-the art CMOS technology. In addition to the classical architecture (lateral bulk MOSFET's), the performances of SOI devices will be evaluated. SOI technology is a good challenger in order to reduce or suppress some major parasitic effects observed in bulk Si MOSFETs and to increase the performance of the devices.
CMOS is the mainstream technology in microelectronics and will remain so early into the 21st century. The 1 Gbit technology generation with feature sizes of 0.18 µm is already under development. The scaling scenario put forth in widely accepted industry roadmaps calls for sub 100-nm MOSFET's within the next 10 years. The design, optimisation, and fabrication of devices with such dimensions pose formidable challenges owing to the technological and physical limits. The ultimate scaling down of the channel length of MOSFET's is probably in the range between 50 to 20 nm. Various technological hurdles must be overcome. Foremost among these are lithography and patterning. All parts of the MOSFET - gate stack, channel and source-drain architectures, metallic contacts - present new problems. Parasitic effects (e.g. short-channel effects, series resistance, reduction in current drive due to high doping) will be exacerbated. Below 50 nm, hitherto unimportant physical effects, such as quantum effects, will begin to emerge.
The present working group consortium proposes a study of the problems related to the fabrication, understanding and optimisation of deep sub-0.1 µm MOSFET's (NMOS and PMOS with channel length in the range of 100 to sub-50 nm).
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique microélectronique
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
38031 Grenoble 1
France
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.