Ziel
The aim is to evaluate how far the MOS concept can be scaled down by pushing today's existing state-of-the art CMOS technology. In addition to the classical architecture (lateral bulk MOSFET's), the performances of SOI devices will be evaluated. SOI technology is a good challenger in order to reduce or suppress some major parasitic effects observed in bulk Si MOSFETs and to increase the performance of the devices.
CMOS is the mainstream technology in microelectronics and will remain so early into the 21st century. The 1 Gbit technology generation with feature sizes of 0.18 µm is already under development. The scaling scenario put forth in widely accepted industry roadmaps calls for sub 100-nm MOSFET's within the next 10 years. The design, optimisation, and fabrication of devices with such dimensions pose formidable challenges owing to the technological and physical limits. The ultimate scaling down of the channel length of MOSFET's is probably in the range between 50 to 20 nm. Various technological hurdles must be overcome. Foremost among these are lithography and patterning. All parts of the MOSFET - gate stack, channel and source-drain architectures, metallic contacts - present new problems. Parasitic effects (e.g. short-channel effects, series resistance, reduction in current drive due to high doping) will be exacerbated. Below 50 nm, hitherto unimportant physical effects, such as quantum effects, will begin to emerge.
The present working group consortium proposes a study of the problems related to the fabrication, understanding and optimisation of deep sub-0.1 µm MOSFET's (NMOS and PMOS with channel length in the range of 100 to sub-50 nm).
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
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- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Mikroelektronik
- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften anorganische Chemie Metalloide
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
38031 Grenoble 1
Frankreich
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.