High epsilon materials cluster tool for optimised rapid deposition of stacked capacitors on 300 mm wafers

Información del proyecto

HECTOR 300

Identificador del acuerdo de subvención: 26381

Proyecto cerrado

Fecha de inicio 1 Marzo 1998

Fecha de finalización 30 Junio 2000

Financiado con arreglo a

• Specific research and technological development programme in the field of information technologies, 1994-1998

Coste total € 10 000 000,00

Aportación de la UE € 5 000 000,00

Coordinado por

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
Germany

Programa(s)

• FP4-ESPRIT 4 - Specific research and technological development programme in the field of information technologies, 1994-1998

Tema(s)

• 2.8 - Semiconductors - Building blocks, methods & tools

Convocatoria de propuestas

Data not available

Régimen de financiación

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinador

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: WITTELSBACHERPLATZ 2 ; 80333 MUENCHEN ; Alemania
• Coste total: Sin datos

Participantes (8)

AIXTRON AG

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Kackertstrasse 15-17 ; AACHEN
• Coste total: Sin datos

Asm International Nv

Países Bajos

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Jan Van Eycklaan 10 ; 3723 BC Bilthoven
• Coste total: Sin datos

Austria Mikro Systeme International Ag

Austria

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Tobelbaderstrasse (Schloss Premstaetten) 30 ; 8141 Unterpremstaetten
• Coste total: Sin datos

Forschungszentrum Juelich

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Wilhelm-Johnen Str. ; 52425 Juelich
• Coste total: Sin datos

Fraunhofer Gesellschaft Zur Foerderung der Angewandten Forschung

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Leonrodstr. 54 ; 80636 München
• Coste total: Sin datos

Lucent Technologies Microelectronica , SA Unipersonal

España

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Poligono Industrial Tres Cantos (Zona Oeste) ; 28760 Tres Cantos (Madrid)
• Coste total: Sin datos

Motorola Limited

Reino Unido

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Jays Close, Viable Industrial Estate ; RG22 4PD Basingstoke
• Coste total: Sin datos

Steag-Ast Elektronik Gmbh

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Benzstrasse 1 ; 85551 Kirchheim
• Coste total: Sin datos