High epsilon materials cluster tool for optimised rapid deposition of stacked capacitors on 300 mm wafers

Informazioni relative al progetto

HECTOR 300

ID dell’accordo di sovvenzione: 26381

Progetto chiuso

Data di avvio 1 Marzo 1998

Data di completamento 30 Giugno 2000

Finanziato da

• Specific research and technological development programme in the field of information technologies, 1994-1998

Costo totale € 10 000 000,00

Contributo UE € 5 000 000,00

Coordinato da

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
Germany

Programma(i)

• FP4-ESPRIT 4 - Specific research and technological development programme in the field of information technologies, 1994-1998

Argomento(i)

• 2.8 - Semiconductors - Building blocks, methods & tools

Invito a presentare proposte

Data not available

Meccanismo di finanziamento

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinatore

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

• Contributo UE: Nessun dato
• Indirizzo: WITTELSBACHERPLATZ 2 ; 80333 MUENCHEN ; Germania
• Costo totale: Nessun dato

Partecipanti (8)

AIXTRON AG

Germania

• Contributo UE: Nessun dato
• Indirizzo: Kackertstrasse 15-17 ; AACHEN
• Costo totale: Nessun dato

Asm International Nv

Paesi Bassi

• Contributo UE: Nessun dato
• Indirizzo: Jan Van Eycklaan 10 ; 3723 BC Bilthoven
• Costo totale: Nessun dato

Austria Mikro Systeme International Ag

Austria

• Contributo UE: Nessun dato
• Indirizzo: Tobelbaderstrasse (Schloss Premstaetten) 30 ; 8141 Unterpremstaetten
• Costo totale: Nessun dato

Forschungszentrum Juelich

Germania

• Contributo UE: Nessun dato
• Indirizzo: Wilhelm-Johnen Str. ; 52425 Juelich
• Costo totale: Nessun dato

Fraunhofer Gesellschaft Zur Foerderung der Angewandten Forschung

Germania

• Contributo UE: Nessun dato
• Indirizzo: Leonrodstr. 54 ; 80636 München
• Costo totale: Nessun dato

Lucent Technologies Microelectronica , SA Unipersonal

Spagna

• Contributo UE: Nessun dato
• Indirizzo: Poligono Industrial Tres Cantos (Zona Oeste) ; 28760 Tres Cantos (Madrid)
• Costo totale: Nessun dato

Motorola Limited

Regno Unito

• Contributo UE: Nessun dato
• Indirizzo: Jays Close, Viable Industrial Estate ; RG22 4PD Basingstoke
• Costo totale: Nessun dato

Steag-Ast Elektronik Gmbh

Germania

• Contributo UE: Nessun dato
• Indirizzo: Benzstrasse 1 ; 85551 Kirchheim
• Costo totale: Nessun dato