High epsilon materials cluster tool for optimised rapid deposition of stacked capacitors on 300 mm wafers

Informations projet

HECTOR 300

N° de convention de subvention: 26381

Projet clôturé

Date de début 1 Mars 1998

Date de fin 30 Juin 2000

Financé au titre de

• Specific research and technological development programme in the field of information technologies, 1994-1998

Coût total € 10 000 000,00

Contribution de l’UE € 5 000 000,00

Coordonné par

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
Germany

Programme(s)

• FP4-ESPRIT 4 - Specific research and technological development programme in the field of information technologies, 1994-1998

Thème(s)

• 2.8 - Semiconductors - Building blocks, methods & tools

Appel à propositions

Data not available

Régime de financement

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinateur

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: WITTELSBACHERPLATZ 2 ; 80333 MUENCHEN ; Allemagne
• Coût total: Aucune donnée

Participants (8)

AIXTRON AG

Allemagne

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Kackertstrasse 15-17 ; AACHEN
• Coût total: Aucune donnée

Asm International Nv

Pays-Bas

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Jan Van Eycklaan 10 ; 3723 BC Bilthoven
• Coût total: Aucune donnée

Austria Mikro Systeme International Ag

Autriche

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Tobelbaderstrasse (Schloss Premstaetten) 30 ; 8141 Unterpremstaetten
• Coût total: Aucune donnée

Forschungszentrum Juelich

Allemagne

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Wilhelm-Johnen Str. ; 52425 Juelich
• Coût total: Aucune donnée

Fraunhofer Gesellschaft Zur Foerderung der Angewandten Forschung

Allemagne

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Leonrodstr. 54 ; 80636 München
• Coût total: Aucune donnée

Lucent Technologies Microelectronica , SA Unipersonal

Espagne

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Poligono Industrial Tres Cantos (Zona Oeste) ; 28760 Tres Cantos (Madrid)
• Coût total: Aucune donnée

Motorola Limited

Royaume-Uni

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Jays Close, Viable Industrial Estate ; RG22 4PD Basingstoke
• Coût total: Aucune donnée

Steag-Ast Elektronik Gmbh

Allemagne

• Contribution de l’UE: Aucune donnée
• Adresse: Benzstrasse 1 ; 85551 Kirchheim
• Coût total: Aucune donnée