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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
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Contenu archivé le 2024-05-14

High epsilon materials cluster tool for optimised rapid deposition of stacked capacitors on 300 mm wafers

Appel à propositions

Data not available

Régime de financement

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinateur

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
Contribution de l’UE
Aucune donnée
Adresse
WITTELSBACHERPLATZ 2
80333 MUENCHEN
Allemagne

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Coût total
Aucune donnée

Participants (8)