Objetivo
The aim of the project is the development of a novel methodology for the fabrication of low power semiconductor gas sensors and sensor arrays addressing the application com-petencies of portability, high performance, reliability, endurance and high yield. The project faces two separate challenges, a novel low-power structure and CMOS integration, that both are of interest individually, but especially once combined promise a high performance device. The final device will consist of a gas sensor array fabricated on a thermally isolated silicon diaphragm and with high added value thanks to its combination with on-chip CMOS circuitry. The mechanical structure that guarantees high yield, robustness, endurance and low-power consumption is achieved with the use of a glass cover which is fabricated on wafer level.
The project is pro-posed on a two-step basis, being the first for demonstrating the feasibility of the new concept. Three partial demonstrators are defined to tackle the technological risks and pass-fail criteria have been fixed for them. They are defined to assess the compatibility of the gas sensor and electronic circuit technologies, their interconnectability and the manu-facturability of the wafer level packaging glass-silicon structure. The coexistence of high temperatures for sensors and low temperatures for the circuitry on the same chip will be demonstrated with the demonstrators and FEM simulations.
The device will consist of a low power semiconductor gas sensor array fabricated on a thermally isolated silicon diaphragm and with high added value thanks to its combination with on-chip CMOS circuitry. The robustness of the structure that assesses high yield and endurance is achieved with the use of a glass cover that is an important part of the structure. Apart of improving on the industrial concerns of robustness and packaging cost, the glass-silicon structures can be used for the fabrication of new devices for both high volume markets and high price advanced systems.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ingeniería y tecnología ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información ingeniería electrónica sensores
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ingeniería y tecnología ingeniería de materiales sólidos amorfos
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica metaloides
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
28006 Madrid
España
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.