Objectif
The aim of the project is the development of a novel methodology for the fabrication of low power semiconductor gas sensors and sensor arrays addressing the application com-petencies of portability, high performance, reliability, endurance and high yield. The project faces two separate challenges, a novel low-power structure and CMOS integration, that both are of interest individually, but especially once combined promise a high performance device. The final device will consist of a gas sensor array fabricated on a thermally isolated silicon diaphragm and with high added value thanks to its combination with on-chip CMOS circuitry. The mechanical structure that guarantees high yield, robustness, endurance and low-power consumption is achieved with the use of a glass cover which is fabricated on wafer level.
The project is pro-posed on a two-step basis, being the first for demonstrating the feasibility of the new concept. Three partial demonstrators are defined to tackle the technological risks and pass-fail criteria have been fixed for them. They are defined to assess the compatibility of the gas sensor and electronic circuit technologies, their interconnectability and the manu-facturability of the wafer level packaging glass-silicon structure. The coexistence of high temperatures for sensors and low temperatures for the circuitry on the same chip will be demonstrated with the demonstrators and FEM simulations.
The device will consist of a low power semiconductor gas sensor array fabricated on a thermally isolated silicon diaphragm and with high added value thanks to its combination with on-chip CMOS circuitry. The robustness of the structure that assesses high yield and endurance is achieved with the use of a glass cover that is an important part of the structure. Apart of improving on the industrial concerns of robustness and packaging cost, the glass-silicon structures can be used for the fabrication of new devices for both high volume markets and high price advanced systems.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- ingénierie et technologie génie électrique, génie électronique, génie de l’information ingénierie électronique capteurs
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- ingénierie et technologie ingénierie des materiaux solides amorphes
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
28006 Madrid
Espagne
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.