Objetivo
"This proposal targets the development of flexible heterogeneous integration schemes for combining best-of-class materials, components and manufacturing methods into economically viable micro- and nanosystem (MEMS) solutions.
Today, the IC industry drives the development of most micro- and nanofabrication technologies, which are characterized by standardized processes, very large production volumes of >10.000 wafers/month and enormous capital investments. In contrast, the vast majority of MEMS demand production volumes of <100 wafers/month and different manufacturing and integration processes for each type of device. The a-priori acceptance of IC manufacturing technologies for MEMS therefore leads to missed market opportunities for many moderate volume MEMS-based products and to sub-optimal material choices.
Instead, we aim for a new MEMS-specific integration and manufacturing paradigm, in which the technologies and tools are adapted to the production volumes and design variations of MEMS devices. Specifically, we will develop novel and enabling micro/nano fabrication and integration techniques with a focus on flexibility and cost-efficiency in the following areas:
"" Heterogeneous Material Integration, where we incorporate high-performance materials into MEMS using unconventional and innovative technologies and tools, including serial integration, wafer-level integration and free-form fabrication of MEMS;
"" Heterogeneous System Integration, where we develop new wafer level schemes to combine, process and interconnect components fabricated with different technologies such as MEMS, NEMS, ICs or photonics;
"" Lab-on-Chip Integration, in which transducers, mass transport solutions, surface biochemistry and liquids are combined at the wafer level into high-performance systems."
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales ciencias biológicas bioquímica
- ingeniería y tecnología otras ingenierías y tecnologías microtecnología laboratorio en un chip
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
ERC-2010-AdG_20100224
Consulte otros proyectos de esta convocatoria
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Institución de acogida
100 44 STOCKHOLM
Suecia
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.