Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS
Zawartość zarchiwizowana w dniu 2024-06-18

Towards Cost-Efficient Flexible Heterogeneous Integration for Micro- and Nanosystem Fabrication

Cel

"This proposal targets the development of flexible heterogeneous integration schemes for combining best-of-class materials, components and manufacturing methods into economically viable micro- and nanosystem (MEMS) solutions.
Today, the IC industry drives the development of most micro- and nanofabrication technologies, which are characterized by standardized processes, very large production volumes of >10.000 wafers/month and enormous capital investments. In contrast, the vast majority of MEMS demand production volumes of <100 wafers/month and different manufacturing and integration processes for each type of device. The a-priori acceptance of IC manufacturing technologies for MEMS therefore leads to missed market opportunities for many moderate volume MEMS-based products and to sub-optimal material choices.
Instead, we aim for a new MEMS-specific integration and manufacturing paradigm, in which the technologies and tools are adapted to the production volumes and design variations of MEMS devices. Specifically, we will develop novel and enabling micro/nano fabrication and integration techniques with a focus on flexibility and cost-efficiency in the following areas:
"" Heterogeneous Material Integration, where we incorporate high-performance materials into MEMS using unconventional and innovative technologies and tools, including serial integration, wafer-level integration and free-form fabrication of MEMS;
"" Heterogeneous System Integration, where we develop new wafer level schemes to combine, process and interconnect components fabricated with different technologies such as MEMS, NEMS, ICs or photonics;
"" Lab-on-Chip Integration, in which transducers, mass transport solutions, surface biochemistry and liquids are combined at the wafer level into high-performance systems."

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

ERC-2010-AdG_20100224
Zobacz inne projekty w ramach tego zaproszenia

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

ERC-AG - ERC Advanced Grant

Instytucja przyjmująca

KUNGLIGA TEKNISKA HOEGSKOLAN
Wkład UE
€ 2 279 800,00
Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

Brak danych

Beneficjenci (1)

Moja broszura 0 0