Evaluation of a surface preparation system for the analysis of silicon wafers

Projektinformationen

SUPRA

ID Finanzhilfevereinbarung: 27564

Projekt abgeschlossen

Startdatum 15 Mai 1998

Enddatum 14 August 1999

Finanziert unter

• Specific research and technological development programme in the field of information technologies, 1994-1998

Gesamtkosten € 840 000,00

EU-Beitrag € 374 000,00

Koordiniert durch

Inter University Microelectronics Center
Belgium

Wissenschaftliches Gebiet

• natural sciences › chemical sciences › inorganic chemistry › metalloids

Programm/Programme

• FP4-ESPRIT 4 - Specific research and technological development programme in the field of information technologies, 1994-1998

Thema/Themen

• 2.9 - Building blocks, methods & tools for semiconductor app&techs

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Data not available

Finanzierungsplan

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Koordinator

Inter University Microelectronics Center

• EU-Beitrag: Keine Daten
• Adresse: Kapeldreef 75 ; 3001 Leuven ; Belgien
• Gesamtkosten: Keine Daten